检测项目

1.光学性能测试：特定波长反射率，光谱反射曲线，透射率，光学均匀性，折射率。

2.面形精度检测：表面面形误差，局部斜率误差，曲率半径，光圈数，像散。

3.表面质量评估：表面粗糙度，划痕，麻点，崩边，洁净度。

4.涂层性能测试：涂层附着力，耐磨性，耐腐蚀性，激光损伤阈值，环境稳定性。

5.波前误差检测：透射波前误差，反射波前误差，峰谷值，均方根值。

6.机械特性测试：表面硬度，抗弯强度，弹性模量，断裂韧性。

7.环境可靠性试验：高低温循环，湿热试验，盐雾试验，紫外老化，膜层耐久性。

8.材料特性分析：内部气泡与杂质，应力双折射，条纹度，光学吸收系数。

9.几何尺寸测量：中心厚度，外径，楔形角，平行度，角度精度。

10.光谱特性分析：宽光谱反射率，偏振特性，相位延迟。

11.热光学性能测试：热膨胀系数，折射率温度系数，热致波前畸变。

检测范围

平面反射镜、球面反射镜、非球面反射镜、离轴抛物面镜、分光镜、激光反射镜、高反镜、冷光镜、折反式光学系统镜片、光学棱镜反射面、扫描振镜镜片、天文望远镜主镜与副镜、光刻机投影物镜反射元件、干涉仪参考镜

检测设备

1.分光光度计：用于精确测量玻璃在不同波长下的反射率与透射率，绘制光谱特性曲线。

2.激光干涉仪：用于高精度检测光学表面的面形误差和透射波前质量，提供纳米级精度的三维形貌数据。

3.轮廓仪：用于测量表面粗糙度及微观轮廓，评估表面加工质量与涂层平整度。

4.光谱分析系统：集成光源与探测器，用于分析宽光谱范围内的反射、透射及偏振特性。

5.环境试验箱：模拟高温、低温、湿热、盐雾等环境条件，考核玻璃及其涂层的环境适应性与耐久性。

6.光学显微镜：用于观察和评定表面及亚表面的缺陷，如划痕、麻点、崩边和污染。

7.应力仪：基于偏振光原理，检测玻璃内部残余应力及应力双折射的分布与大小。

8.激光损伤阈值测试平台：使用高能激光束照射样品表面，定量测定其涂层或基底的激光损伤阈值。

9.精密测厚仪：采用非接触或接触式测量原理，精确测量光学元件的中心厚度与厚度均匀性。

10.附着力测试仪：通过划格法、拉脱法等方式，定量评估光学薄膜与玻璃基底之间的结合强度。