半导体工艺尾气成分分析

检测项目

1.挥发性有机化合物浓度：检测限值≤10mg/m³，苯系物≤1mg/m³，甲苯≤2mg/m³

2.酸性气体含量：氯化氢≤5ppm，氟化氢≤0.5ppm，二氧化硫≤10ppm

3.碱性气体浓度：氨气≤2ppm，胺类化合物≤1mg/m³

4.颗粒物浓度：粒径≤2.5μm，浓度≤50μg/m³，总悬浮颗粒物≤100μg/m³

5.重金属元素分析：铅≤0.1mg/m³，镉≤0.05mg/m³，砷≤0.01mg/m³

6.氧气含量测定：正常范围19.5-23.5%，偏差±0.5%

7.一氧化碳浓度：≤25ppm，检测精度±1ppm

8.二氧化碳浓度：≤5000ppm，工业限值±100ppm

9.氮氧化物总量：一氧化氮≤5ppm，二氧化氮≤5ppm，总和≤10ppm

10.硫化物检测：硫化氢≤1ppm，有机硫化物≤0.5mg/m³

11.氟化物浓度：总氟化物≤0.5mg/m³，气态氟化氢≤0.1ppm

12.氨气及衍生物：氨≤10ppm，铵盐颗粒≤0.2mg/m³

检测范围

1.蚀刻工艺尾气：含氟化氢、四氟化碳、六氟化硫等酸性气体

2.化学气相沉积尾气：硅烷、氨气、氮氧化物及未反应前驱体

3.物理气相沉积尾气：金属颗粒、氩气、氮气及挥发性有机物

4.光刻工艺尾气：光刻胶溶剂、苯系物、酯类及酮类化合物

5.离子注入尾气：掺杂气体如磷化氢、硼烷及惰性载体气体

6.清洗工艺尾气：硫酸雾、盐酸雾、氢氟酸及有机清洗剂残留

7.退火工艺尾气：氮气、氢气、水蒸气及热解产物

8.氧化工艺尾气：氧气、水蒸气、一氧化碳及二氧化碳

9.扩散工艺尾气：磷、硼化合物、氮气及氧化物颗粒

10.溅射工艺尾气：氩气、金属蒸气、氧化物及氮化物颗粒

11.等离子体工艺尾气：活性氧、氮物种、自由基及反应副产物

12.蒸发工艺尾气：金属有机化合物、溶剂蒸气及热分解气体

检测方法

国际标准：

ASTMD6348-12挥发性有机化合物测定气相色谱法

ISO10396:2019固定源排放气体采样方法

ASTMD6784-16颗粒物浓度重量分析法

ISO11564:2020氮氧化物化学发光分析法

ASTMD5835-20酸性气体滴定分析法

ISO13734:2021硫化物检测气相色谱法

ASTMD5466-21氧气含量电化学传感器法

ISO13964:2022一氧化碳非分散红外分析法

ASTMD5953-19重金属原子吸收光谱法

ISO13199:2018氟化物离子选择电极法

国家标准：

GB/T16157-2021固定污染源排气中颗粒物测定与气态污染物采样方法

GB/T14669-2021空气质量氨的测定次氯酸钠-水杨酸分光光度法

GB/T15264-2021环境空气铅的测定石墨炉原子吸收分光光度法

GB/T15432-2021环境空气总悬浮颗粒物测定重量法

GB/T15516-2021空气质量甲醛的测定乙酰丙酮分光光度法

GB/T14675-2021空气质量恶臭的测定三点比较式臭袋法

GB/T15438-2021环境空气臭氧的测定紫外光度法

GB/T15262-2021环境空气二氧化硫的测定甲醛吸收-副玫瑰苯胺分光光度法

GB/T15436-2021环境空气氮氧化物的测定Saltzman法

GB/T16157-2021固定污染源排气中气态污染物采样方法

检测设备

1.气相色谱-质谱联用仪：型号GC-MS-5000，用于挥发性有机化合物定性和定量分析

2.离子色谱仪：型号IC-200，检测阴离子如氟化物、氯化物和硫酸盐

3.颗粒物计数器：型号PMC-100，测量颗粒物浓度和粒径分布，范围0.1-10μm

4.紫外可见分光光度计：型号UV-3000，用于气体浓度测定如氮氧化物和二氧化硫

5.傅里叶变换红外光谱仪：型号FTIR-400，实时多组分气体分析，检测限达ppb级

6.原子吸收光谱仪：型号AAS-600，分析重金属元素如铅、镉和砷

7.电化学气体传感器系统：型号EGS-50，用于连续监测氧气、一氧化碳和硫化氢

8.激光散射颗粒物监测仪：型号LSPM-200，高精度测量颗粒物浓度，精度±1μg/m³

9.气相色谱仪：型号GC-800，分离和测定有机气体成分，配备FID和TCD检测器

10.质谱仪：型号MS-1000，用于元素和化合物分析，质量范围1-1000amu

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"半导体工艺尾气成分分析"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。