检测项目

1.金属杂质分析：钠含量，钾含量，铁含量，铜含量，镍含量，铝含量，钙含量

2.痕量元素分析：铬含量，锰含量，锌含量，钴含量，钼含量，钛含量，钒含量

3.非金属元素分析：氯含量，氟含量，硫含量，磷含量，硼含量，碳含量，氧含量

4.离子污染分析：铵根含量，氯离子含量，硝酸根含量，硫酸根含量，钠离子含量，钾离子含量

5.有机残留分析：总有机碳，醇类残留，酮类残留，酯类残留，芳香烃残留，清洗剂残留

6.挥发性成分分析：挥发性有机物总量，低沸点残留，溶剂残留，单体残留，可析出挥发物

7.颗粒污染分析：颗粒数量，粒径分布，大颗粒含量，表面颗粒密度，悬浮颗粒含量

8.表面洁净度分析：表面残留物，表面无机污染，表面有机污染，表面离子污染，表面膜层杂质

9.材料纯度分析：主成分含量，杂质总量，灰分，不挥发残留，水分含量，纯度换算值

10.气体杂质分析：水汽含量，氧含量，氮含量，二氧化碳含量，烃类杂质，一氧化碳含量

11.腐蚀性指标分析：酸性残留，碱性残留，卤素残留，腐蚀性离子含量，腐蚀倾向评估

12.浸出物分析：金属浸出物，有机浸出物，离子浸出物，总浸出量，可溶性残留物

检测范围

半导体硅片、外延片、光刻胶、显影液、剥离液、清洗液、刻蚀液、抛光液、封装材料、引线框架、键合丝、导电胶、绝缘胶、封装基板、晶圆切割液、电子特气、超纯水、石英器件、陶瓷部件、载具材料

检测设备

1.电感耦合等离子体发射光谱仪：用于测定半导体材料中多种金属元素含量，适合常量及微量杂质分析。

2.电感耦合等离子体质谱仪：用于痕量及超痕量元素测定，适合高纯材料中极低含量杂质的定量分析。

3.离子色谱仪：用于分析阴离子和阳离子污染物，可测定离子残留及水基样品中的离子杂质。

4.气相色谱仪：用于分离和测定挥发性有机成分，适合溶剂残留及低沸点有机物分析。

5.气相色谱质谱联用仪：用于复杂有机残留物的定性与定量分析，适合微量挥发性污染物识别。

6.液相色谱仪：用于分析不易挥发或热稳定性较差的有机化合物，适合添加剂及有机残留测定。

7.总有机碳分析仪：用于测定样品中的总有机碳含量，反映有机污染水平与洁净程度。

8.颗粒计数器：用于检测液体或气体中的颗粒数量及粒径分布，评估洁净度和颗粒污染状态。

9.傅里叶变换红外光谱仪：用于表征有机物官能团及表面残留成分，适合材料污染物的辅助识别。

10.紫外可见分光光度计：用于测定特定成分的吸光响应，适合部分无机离子及有机物含量分析。