MEMS 传感器性能检测

检测项目

1.电性能测试：灵敏度、偏移电压、噪声水平、带宽、线性度、迟滞、重复性、响应时间、功耗、阻抗特性、信号稳定性、频率响应、共模抑制比、谐波失真、零点漂移。

2.机械性能测试：共振频率、阻尼系数、抗冲击强度、抗振动性能、疲劳寿命、蠕变特性、刚度、弹性模量、位移精度、应力敏感性、形变恢复、连接可靠性、封装完整性、微结构稳定性、动态范围。

3.环境适应性测试：高温存储、低温存储、湿热循环、温度冲击、盐雾腐蚀、低气压测试、振动耐受、冲击耐受、粉尘防护、液体浸渍、气候老化、紫外线暴露、气体影响、海拔适应性、电磁干扰。

4.热性能测试：热传导系数、比热容、热膨胀系数、高温工作极限、低温工作极限、热循环耐久性、热稳定性、温度系数、热失控防护、散热效率、热分布均匀性、热滞后、热噪声、热漂移、热冲击耐受。

5.寿命测试：循环次数、性能衰减率、失效时间、加速老化、工况模拟、存储寿命、疲劳极限、材料退化、界面磨损、可靠性预测、退役评估、故障分析、寿命分布、平均无故障时间。

6.一致性测试：批次间差异、单元一致性、灵敏度偏差、温度系数一致性、噪声一致性、响应时间一致性、封装尺寸公差、材料均匀性、工艺稳定性、输出信号一致性、校准偏差、群组性能、匹配度、公差控制。

7.电磁兼容性测试：辐射发射、传导发射、辐射抗扰度、传导抗扰度、静电放电、电快速瞬变脉冲群、浪涌冲击、电压暂降、短时中断、谐波电流、磁场干扰、射频敏感性、屏蔽效果、接地性能。

8.化学分析测试：材料成分、杂质含量、水分浓度、气体析出、表面污染、电解质性能、界面反应、材料降解、腐蚀产物、化学稳定性、元素分布、薄膜厚度、键合强度、氧化程度。

9.功能安全测试：故障诊断、预警机制、通信协议、数据完整性、远程监控、安全状态评估、风险分析、功能等级、软件验证、冗余设计、失效模式、安全阈值、操作逻辑。

10.结构完整性测试：外壳强度、密封性能、防尘等级、防水等级、抗震性能、连接件耐久性、组装精度、热应力耐受、机械冲击耐受、疲劳强度、材料韧性、尺寸稳定性、接口兼容性、微裂纹检测。

11.噪声与振动测试：声压级、振动频率、加速度峰值、位移量、噪声频谱、共振分析、减振效果、声学性能、机械稳定性、环境噪声影响、振动模式、阻尼特性、频谱纯度。

12.校准测试：零点校准、满量程校准、温度补偿、非线性校正、频率校准、相位校准、灵敏度校准、偏移校准、动态校准、静态校准、参考标准比对、不确定度评估。

13.可靠性测试：高加速寿命测试、高加速应力筛选、环境应力筛选、耐久性验证、失效分析、退化模型、可靠性指标、平均修复时间、可用性评估。

14.动态性能测试：阶跃响应、频率响应、相位延迟、群延迟、过冲量、稳定时间、动态误差、带宽极限、谐振峰值、阻尼比、瞬态性能。

15.静态性能测试：静态灵敏度、静态线性度、静态迟滞、静态重复性、静态分辨率、静态稳定性、静态精度、静态漂移、静态阈值、静态非线性误差。

检测范围

加速度传感器、陀螺仪、压力传感器、微麦克风、磁力计、湿度传感器、温度传感器、流量传感器、光学传感器、惯性测量单元、生物传感器、化学传感器、声学传感器、位置传感器、力传感器、扭矩传感器、振动传感器、倾角传感器、接近传感器、气体传感器。

检测方法/标准

国际标准：

IEC 62047-1、IEC 62047-2、ISO 16063-1、ISO 16063-11、IEC 60747-14、ISO 5725-1、IEC 61000-4-2、IEC 61000-4-3、IEC 61000-4-4、IEC 61000-4-5、IEC 61000-4-6、IEC 61000-4-8、ISO 16750-1、ISO 16750-2、ISO 16750-3

国家标准：

GB/T 18459.1、GB/T 7665、GB/T 18459.2、GB/T 18459.3、GB/T 18459.4、GB/T 18459.5、GB/T 18459.6、GB/T 18459.7、GB/T 18459.8、GB/T 18459.9、GB/T 18459.10、GB/T 18459.11、GB/T 18459.12、GB/T 18459.13、GB/T 18459.14、GB/T 18459.15

检测设备

1.振动测试系统：用于模拟机械振动环境，评估传感器的振动性能；频率范围宽广，加速度可精确控制，数据记录完整。

2.高低温环境箱：提供可控温度条件，进行高低温存储及循环测试；温度范围从零下70摄氏度至零上150摄氏度，湿度调节可选。

3.数据采集系统：实时采集传感器输出信号，分析灵敏度、噪声等参数；多通道同步，高分辨率模数转换。

4.显微镜：用于观察微结构完整性，检测表面缺陷或形变；放大倍数高，图像清晰。

5.激光干涉仪：非接触测量位移和振动，用于校准动态性能；精度高，响应快速。

6.噪声测试仪：测量传感器输出噪声水平，分析频谱特性；灵敏度高，环境干扰小。

7.电磁兼容测试系统：评估传感器在电磁环境下的性能，包括发射和抗扰度测试；符合标准规范。

8.热成像仪：非接触测温，用于热分布分析和热失控监测；红外技术，温度灵敏度优异。

9.寿命测试台：模拟长期使用条件，进行加速老化和循环测试；可编程工况，数据记录全面。

10.校准装置：用于传感器零点和满量程校准，确保测量准确性；参考标准可追溯。

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"MEMS 传感器性能检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。