电子级特气杂质含量分析

检测项目

金属杂质分析：

• 铁含量：检测限≤0.1ppb（参照SEMIC3.30）
• 钠含量：检测限≤0.05ppb
• 铜含量：检测限≤0.08ppb

非金属杂质分析：

• 氯含量：检测限≤0.5ppb
• 硫含量：检测限≤0.2ppb
• 氟含量：检测限≤0.3ppb

水分含量检测：

• 水分：检测限≤10ppb（参照ASTMD7122）
• 露点：温度≤-76°C

颗粒物检测：

• 颗粒数：尺寸≥0.1μm，浓度≤1个/升
• 颗粒分布：粒径范围0.1-5μm

氧气杂质检测：

• 氧气含量：检测限≤5ppb
• 氧分压：≤0.001Pa

氮气杂质检测：

• 氮气含量：检测限≤10ppb
• 氮化合物：总氮≤20ppb

碳氢化合物检测：

• 总碳氢化合物：检测限≤0.1ppm
• 甲烷含量：检测限≤0.05ppm

酸碱性杂质：

• pH值：中性范围6.8-7.2
• 酸度：总酸≤0.01mg/m³

放射性杂质：

• 放射性核素：检测限≤0.01Bq/m³
• α/β辐射：强度≤0.1Bq

总杂质分析：

• 总杂质浓度：综合评估≤100ppb
• 杂质谱：多元素同步分析

检测范围

1.高纯氩气：重点检测金属杂质和水分含量，确保纯度>99.999%，应用于晶圆沉积工艺。

2.高纯氮气：侧重氧气杂质和颗粒物检测，防止氧化反应，用于光刻气体环境。

3.高纯氢气：检测碳氢化合物和水分，保障还原性气氛纯度，用于退火过程。

4.三氟化氮：分析氟化物杂质和金属含量，确保蚀刻工艺稳定性。

5.硅烷：关注自燃性和金属杂质，控制化学气相沉积风险。

6.氨气：检测水分和碱性杂质，维持氮化硅薄膜质量。

7.六氟化硫：侧重电气绝缘性能相关杂质，用于等离子体设备。

8.氦气：重点检测稀有气体杂质，保障泄漏测试精度。

9.氧气：检测还原性杂质，控制氧化层生长均匀性。

10.混合气体：根据组分定制检测方案，如Ar/H₂混合，分析交叉污染。

检测方法

国际标准：

• SEMIC3.30电子级气体金属杂质测试方法
• ASTMD7122-17水分分析标准方法
• ISO15379:2010颗粒物计数规范
• ASTMD6358-19总碳氢化合物检测

国家标准：

• GB/T14624-2017高纯气体杂质分析方法
• GB/T5832.2-2016水分测定电化学法
• GB/T8979-2008纯氮气体检测
• GB/T4844.3-2015高纯氩气技术条件

国际标准如SEMI更强调ppb级检测限，国家标准GB/T侧重本地化采样协议。

检测设备

1.气相色谱仪：Agilent8890（检测限达0.1ppb）

2.质谱仪：ThermoScientificISQ7000（质量范围1-1000amu）

3.水分分析仪：MichellOptiPEAKTDL600（精度±1ppb）

4.颗粒计数器：LighthouseSolair3100（尺寸0.1-5μm）

5.原子吸收光谱仪：PerkinElmerPinAAcle900T（火焰/石墨炉模式）

6.ICP-MS：Agilent7900（检测限ppt级别）

7.傅里叶变换红外光谱仪：BrukerALPHAII（波长4000-400cm⁻¹）

8.电化学传感器：CityTechnology3SHT（O₂检测限0.1ppm）

9.激光散射颗粒检测器：TSI3330（流量1L/min）

10.总碳分析仪：ShimadzuTOC-L（检测限0.1ppb）

11.气体色谱质谱联用仪：Agilent5977B（高灵敏度）

12.露点仪：VaisalaDMT340（温度-80~+20°C）

13.离子色谱仪：ThermoScientificDionexICS-6000（阴离子检测）

14.X射线荧光光谱仪：RigakuZSXPrimusIV（元素分析）

15.紫外可见分光光度计：AgilentCary60（波长190-1100nm）

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"电子级特气杂质含量分析"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。