半导体工艺气体检测

检测项目

1.气体纯度检测：纯度≥99.9999%，杂质总量≤1ppm，用于确保气体基础质量

2.水分含量测定：露点温度≤-76°C，水分浓度≤1ppb，防止氧化和污染

3.氧含量分析：氧浓度≤0.1ppm，使用电化学传感器，避免氧化反应

4.颗粒物浓度检测：颗粒尺寸≥0.1μm，浓度≤0.1个/立方英尺，减少设备堵塞

5.杂质元素含量：如铁、铜、钠等金属杂质≤0.01ppb，防止半导体缺陷

6.毒性气体检测：如砷化氢、磷化氢浓度≤0.05ppm，确保工作环境安全

7.可燃性气体浓度：如氢气爆炸下限监测，浓度≤1%LEL，预防火灾风险

8.压力稳定性测试：压力波动≤±0.5%，范围0-100psi，保证工艺一致性

9.流量准确性验证：流量误差≤±1%，范围0.1-100L/min，确保精确输送

10.泄漏率检测：泄漏率≤10⁻⁶Pa·m³/s，使用氦质谱检漏，维持系统完整性

11.气体成分分析：多组分气体浓度，如N₂、O₂、Ar等，精度±0.1%，用于混合气体验证

12.温度稳定性评估：温度控制精度±0.5°C，范围-40°Cto100°C，确保环境条件稳定

检测范围

1.高纯氮气：用于purge和blanketing，纯度≥99.999%，重点检测氧和水分含量

2.硅烷气体：用于化学气相沉积，SiH₄浓度≥99.995%，关注金属杂质和颗粒物

3.氩气：用于溅射和等离子体处理，纯度≥99.999%，检测惰性气体纯度

4.氢气：用于还原气氛，纯度≥99.999%，强调可燃性和杂质控制

5.氧气：用于氧化过程，纯度≥99.995%，验证纯度和水分

6.氨气：用于氮化硅沉积，NH₃浓度≥99.98%，检测毒性杂质和稳定性

7.氟化气体：如CF₄、SF₆用于蚀刻，纯度≥99.9%，关注腐蚀性和颗粒物

8.氯气：用于金属蚀刻，Cl₂浓度≥99.95%，检测毒性和纯度

9.乙硼烷：用于掺杂，B₂H₆浓度≥99.5%，强调可燃性和杂质限值

10.磷化氢：用于掺杂，PH₃浓度≥99.99%，检测毒性和浓度准确性

11.一氧化二氮：用于氧化层生长，N₂O纯度≥99.999%，验证纯度和稳定性

12.氦气：用于检漏和载气，纯度≥99.999%，检测惰性和泄漏率

检测方法

国际标准：

ASTMD1945-14气相色谱法分析气体成分

ISO8573-1:2019压缩空气纯度分级和检测

ASTMD6368-06气体中水分含量测定

ISO10715:2022天然气取样指南

ASTME260-96气相色谱通用方法

ISO6141:2019气体分析校准气体混合物

ASTMD4984-06气体中氧含量测定

ISO6327:2020气体中水分露点测定

ASTMF312-08微电子用气体杂质检测

ISO14644-1:2022洁净室及相关控制环境

国家标准：

GB/T14677-2021气体分析气相色谱法

GB/T8984-2022高纯气体中杂质含量的测定

GB/T5832.1-2021气体中水分含量的测定

GB/T5274-2021气体分析校准用混合气体的制备

GB/T8981-2022气体中氧含量的测定

GB/T14678-2021气体中颗粒物浓度的测定

GB/T16942-2021电子工业用高纯气体

GB/T10247-2021气体泄漏检测方法

GB/T14098-2021气体分析术语

GB/T16943-2021电子工业用气体包装、储运要求

检测设备

1.气相色谱仪：型号GC-5000，用于分离和定量气体成分，检测下限0.1ppm

2.质谱仪：型号MS-3000，用于高灵敏度杂质检测，质量范围1-1000amu

3.水分分析仪：型号MA-100，露点测量范围-80°Cto20°C，精度±0.5°C

4.氧分析仪：型号OA-200，电化学传感器，测量范围0-1000ppm，精度±1%

5.颗粒计数器：型号PC-400，激光散射原理，检测颗粒尺寸0.1-10μm

6.气体泄漏检测仪：型号LD-500，氦质谱检漏，灵敏度10⁻⁶Pa·m³/s

7.压力校准器：型号PC-100，压力范围0-1000psi，精度±0.05%

8.流量计：型号FM-200，热式质量流量计，范围0.01-100L/min，精度±0.5%

9.毒性气体检测器：型号TG-150，电化学传感器，检测多种毒性气体

10.多气体分析仪：型号MGA-600，可同时分析多种气体成分，红外和电化学技术

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"半导体工艺气体检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。