检测项目
1. 颗粒物总量(<=1000个/cm²)
2. 离子污染度(NaCl当量<=1.0μg/cm²)
3. 非挥发性残留物(<=5mg/件)
4. 有机挥发物VOC(<=50μg/g)
5. 表面清洁度等级(IA-5级)
检测范围
1. 洁净室用FKM密封件：半导体设备密封圈
2. 半导体用FFKM：晶圆制造用密封件
3. 医用级氟胶：导管密封件、胶塞
4. 食品级FKM：食品机械密封件
5. 光伏行业用FKM：电池片传输用密封条
检测方法
1. ISO 16232-10:2019 道路车辆零部件清洁度
2. GB/T 17450-2008 表面清洁度评定方法
3. ASTM D7393-2019 橡胶清洁度评估标准
4. IEC 60749-34:2021 半导体器件清洁度试验
5. GB/T 9755-2020 涂料VOC释放测定
检测设备
1. 液体颗粒计数器(PMS LiQuilaz E20)：粒径0.2-20μm
2. 离子色谱仪(Thermo Dionex ICS-600)：检出限0.1ppb
3. 气相色谱-质谱仪(Agilent 8890-5977B)：VOC检测
4. 电子天平(Sartorius CPA225D)：精度0.01mg
5. 洁净工作台(ESCO A2)：ISO Class 5洁净度
6. 显微镜(Olympus BX53M)：放大50-1000X
7. 超声波清洗器(Crest 275D)：频率40kHz
8. 烘箱(Yashilin DHG-9240A)：最高温度250℃