电子级特种气体分析

检测项目

1.纯度测定：总纯度≥99.999%，主要杂质如氮气≤0.001%、氧气≤0.0005%

2.水分含量分析：水分子浓度≤0.1ppm，露点温度-76°C以下

3.氧气杂质检测：氧气含量≤0.0001%，使用电化学传感器法

4.氮气杂质测量：氮气杂质≤0.0005%，适用于惰性气体背景

5.二氧化碳含量测试：CO₂浓度≤0.0002%，红外吸收法检测

6.总烃类化合物分析：总烃含量≤0.0001%，包括甲烷、乙烷等

7.颗粒物计数：颗粒尺寸≥0.1μm，计数≤1particle/cm³

8.金属离子杂质检测：钠、钾、铁等金属离子≤0.001ppb

9.酸度或碱度评估：pH值中性，酸度≤0.01mg/kgasHCl

10.特定气体组分分析：如硅烷中硅氢键纯度≥99.999%，杂质硅氧烷≤0.0001%

11.氦气检漏测试：泄漏率≤1×10⁻⁹Pa·m³/s，用于密封性验证

12.放射性核素检测：放射性活度≤0.1Bq/m³，确保安全标准

检测范围

1.高纯氮气：纯度≥99.999%，用于半导体制造中的惰性环境

2.高纯氩气：纯度≥99.999%，应用于溅射和沉积工艺

3.高纯氢气：纯度≥99.999%，用于还原气氛和燃料电池

4.硅烷气体：硅烷纯度≥99.999%，杂质如氧≤0.0001%

5.氨气：高纯氨气，纯度≥99.999%，用于氮化工艺

6.三氟化氮：NF₃纯度≥99.99%，用于清洗蚀刻设备

7.六氟化硫：SF₆纯度≥99.99%，应用于绝缘和蚀刻

8.氦气：高纯氦气，纯度≥99.999%，用于检漏和载气

9.氧气：电子级氧气，纯度≥99.999%，用于氧化工艺

10.氯气：高纯氯气，纯度≥99.99%，用于蚀刻和清洗

11.氟化氢气体：HF纯度≥99.99%，用于硅片清洗

12.氪气和氙气：稀有气体纯度≥99.999%，用于特殊照明和激光

检测方法

国际标准：

ASTMD1945-14(2019)气相色谱法测定气体组成

ISO6974-1:2012天然气分析气相色谱法

ASTMD5466-21气体中水分含量测定电解法

ISO8573-2:2018压缩空气颗粒物计数

ASTMF1397-93(2018)气体中金属杂质原子吸收光谱法

ISO10101-1:2022天然气水含量测定卡尔费休法

ASTMD7649-19气体中氧气含量测定电化学法

ISO10715:2022天然气采样指南

ASTME260-96(2021)气相色谱通用实践

ISO6143:2021气体分析比较方法

国家标准：

GB/T14600-2021电子工业用气体高纯氮

GB/T8979-2021纯氮、高纯氮和超纯氮

GB/T3634.2-2021氢气第2部分：纯氢、高纯氢和超纯氢

GB/T4842-2021氩气

GB/T6052-2021工业液体二氧化碳

GB/T8980-2021高纯氦

GB/T3864-2021工业氮

GB/T7445-2021氢气

GB/T10248-2021气体分析校准用混合气体的制备

GB/T10627-2021气体分析动态体积法

检测设备

1.气相色谱仪：型号GC-5000.检测气体组分，分辨率0.01ppm

2.质谱仪：型号MS-2000.用于痕量杂质分析，检测下限0.001ppb

3.水分分析仪：型号MA-100.基于卡尔费休法，测量范围0.01-1000ppm

4.颗粒计数器：型号PC-300.激光散射原理，计数颗粒尺寸0.1-10μm

5.原子吸收光谱仪：型号AAS-400.检测金属离子，精度±0.1ppb

6.红外气体分析仪：型号IRGA-600.测量CO₂和烃类，灵敏度0.0001%

7.电化学传感器系统：型号ECS-150.用于氧气和有毒气体检测，响应时间<30秒

8.氦质谱检漏仪：型号HLD-200.泄漏检测灵敏度1×10⁻¹²Pa·m³/s

9.气体纯度分析仪：型号GPA-700.综合测量纯度、杂质，精度±0.0001%

10.放射性检测器：型号RD-100.测量核素活度，范围0.01-100Bq/m³

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"电子级特种气体分析"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。