检测项目
1.气体纯度检测：氢气纯度≥99.999%，氮气纯度≥99.995%，氩气纯度≥99.996%
2.氧气杂质含量：最大允许值≤0.1ppm，测量精度±0.01ppm
3.水分含量测定：露点温度≤-70°C，水分浓度≤0.5ppm
4.碳氢化合物杂质：总碳氢化合物≤0.1ppm，甲烷单独≤0.05ppm
5.流量精度验证：流量范围0.1-100L/min，偏差±1%ofreading
6.压力稳定性测试：工作压力0.1-10MPa，波动±0.5%fullscale
7.颗粒物含量分析：颗粒尺寸≥0.1μm，数量≤10个/L
8.毒性气体检测：砷化氢≤0.01ppm，磷化氢≤0.01ppm，氨气≤0.1ppm
9.气体成分色谱分析：主要成分浓度偏差±0.1%，保留时间重复性±0.1min
10.露点温度测量：温度范围-80°Cto20°C，精度±0.5°C
11.密度和相对密度：气体密度测量精度±0.1%，相对空气密度0.5-1.5
12.热导率检测：热导率值0.01-0.5W/(m·K)，偏差±2%
13.爆炸极限测试：可燃气体爆炸下限≥1%vol，上限≤15%vol
14.残留物分析：蒸发残留物≤0.01mg/m³，非挥发性杂质≤0.1ppm
15.气体兼容性试验：与材料接触后纯度变化≤0.001%，无腐蚀产物
检测范围
1.多晶硅制备用氢气：用于还原工艺，纯度≥99.999%，氧气杂质≤0.1ppm
2.单晶硅生长用氩气：CZ法拉晶保护气，纯度≥99.996%，水分≤0.5ppm
3.薄膜太阳能电池沉积用硅烷：化学气相沉积，纯度≥99.995%，颗粒物≤5个/L
4.氮化硅沉积用氨气：PECVD工艺，纯度≥99.99%，毒性杂质≤0.01ppm
5.氧化硅沉积用氧气：热氧化过程，纯度≥99.995%，碳氢化合物≤0.1ppm
6.磷扩散用磷化氢：n型掺杂，浓度控制±1%，安全性检测爆炸极限
7.硼扩散用硼烷：p型掺杂，纯度≥99.9%，残留物≤0.01mg/m³
8.清洗和吹扫用氮气：设备清洁，纯度≥99.995%，水分露点≤-70°C
9.保护气氛用氦气：泄漏检测载体，纯度≥99.999%，密度精度±0.1%
10.蚀刻用三氟化氮：干法蚀刻，纯度≥99.99%，颗粒物尺寸≥0.1μm
11.退火用形成气体：氢氮混合，氢气比例4-10%，流量稳定性±1%
12.特种掺杂气体：如砷烷、锗烷，纯度≥99.99%，毒性限值≤0.01ppm
13.高纯氩氢混合气：用于MOCVD，混合比例精度±0.1%，杂质≤0.1ppm
14.载气用高纯氮：色谱分析载体，纯度≥99.999%，氧气≤0.1ppm
15.回收气体再处理：从工艺中回收，纯度恢复至99.9%，颗粒物过滤至≤10个/L
检测方法
国际标准：
ASTMD1945-14(2019)气体色谱法分析燃料气体成分
ISO6974-1:2012天然气成分分析气相色谱法
ASTME260-96(2019)气体色谱通用实践标准
ISO10715:2022天然气取样指南
ASTMD6350-21气体中微量水分测定露点法
ISO8573-1:2023压缩空气污染物和纯度等级
ASTMD7649-19气体中颗粒物计数光散射法
ISO10101-1:2022天然气水含量测定卡尔费休法
ASTMD7892-22气体中毒性杂质检测质谱法
ISO12213-1:2021天然气压缩因子计算
ASTMD3588-98(2017)气体热值计算标准
ISO6976:2020天然气热值、密度和相对密度计算
ASTMD4984-19气体中氧气测定电化学法
ISO6327:2022气体分析取样系统设计
ASTMF1375-92(2018)气体兼容性测试半导体材料
国家标准：
GB/T8980-1996高纯氮技术要求和分析方法
GB/T8979-2008高纯氢
GB/T4842-2017高纯氩
GB/T16942-2021高纯硅烷
GB/T14600-2019电子工业用气体磷化氢
GB/T14851-2021电子工业用气体砷化氢
GB/T5274-2021气体分析校准用混合气制备
GB/T5832.1-2021气体中微量水分测定电解法
GB/T8981-2008气体中颗粒物测定光散射法
GB/T16943-2021电子工业用气体三氟化氮
GB/T10628-2021气体分析气体混合物制备称量法
GB/T14099-2021气体燃料热值测定方法
GB/T5275-2021气体分析取样导则
GB/T16944-2021电子工业用气体硒化氢
GB/T14852-2021气体中杂质测定气相色谱法
检测设备
1.气体色谱仪：型号GC-2000，用于成分分析，检测下限0.01ppm，保留时间精度±0.1min
2.露点仪：型号DP-100，测量范围-80°Cto20°C，精度±0.5°C，自动校准功能
3.质谱仪：型号MS-500，检测微量杂质，质量范围1-500amu，灵敏度0.001ppm
4.高精度流量计：型号FM-300，量程0.01-200L/min，精度±0.5%FS，数字输出
5.压力传感器系统：型号PS-400，压力范围0-15MPa，稳定性±0.1%，温度补偿
6.颗粒计数器：型号PC-600，检测颗粒尺寸0.1-10μm，计数效率≥95%，流量控制±1%
7.毒性气体检测器：型号TG-700，电化学传感器，检测限0.01ppm，响应时间<30s
8.气体纯度分析仪：型号GA-800，测量纯度至99.9999%，集成色谱和传感器，自动报告
9.热导率检测仪：型号TC-900，测量范围0.01-1W/(m·K)，精度±2%，恒温控制
10.爆炸极限测试仪：型号EL-1000，测定可燃气体爆炸范围，温度范围室温至100°C，安全防护