电子级高纯氨质量控制测试

检测项目

1.纯度测定：高纯氨纯度不低于99.999%，杂质总量≤1ppm，主要杂质如氧、氮、二氧化碳需分别控制

2.水分含量检测：水分浓度≤0.1ppm，使用露点法或卡尔费休法，确保极低湿度

3.氧含量分析：氧杂质≤0.1ppm，防止氧化反应影响电子器件性能

4.氮含量测定：氮杂质≤0.1ppm，避免氮化物形成导致污染

5.二氧化碳含量测试：二氧化碳≤0.1ppm，控制酸性气体杂质

6.总烃含量检测：烃类杂质≤0.1ppm，包括甲烷、乙烷等，防止碳沉积

7.颗粒物计数：颗粒尺寸≥0.1μm的颗粒数≤1个/L，确保无固体污染物

8.金属杂质分析：铁、铜、钠等金属含量各≤0.01ppb，使用高灵敏度方法检测

9.氯化物含量测定：氯化物杂质≤0.01ppm，防止腐蚀性物质生成

10.硫酸盐含量测试：硫酸盐≤0.01ppm，控制硫化物污染

11.氨浓度验证：氨气体积分数≥99.999%，偏差±0.001%

12.压力与气密性检查：工作压力0.5-2.0MPa，泄漏率≤10⁻⁶Pa·m³/s

检测范围

1.半导体级高纯氨：纯度≥99.999%，用于集成电路制造中的化学气相沉积

2.光伏级高纯氨：适用于太阳能电池生产，杂质控制严格，水分≤0.1ppm

3.显示面板用高纯氨：用于OLED和LCD制造，金属杂质≤0.01ppb

4.实验室研究用高纯氨：小规模应用，强调纯度和稳定性测试

5.工业电子级高纯氨：用于功率器件生产，颗粒物计数≤1个/L

6.高纯氨钢瓶气体：包装形式为压缩气体，检测压力稳定性和杂质渗透

7.槽车输送高纯氨：大宗气体供应，关注水分和烃类含量变化

8.5N纯度等级高纯氨：纯度99.999%，适用于一般电子工艺

9.6N纯度等级高纯氨：纯度99.9999%，用于高端半导体应用

10.CVD工艺专用高纯氨：用于化学气相沉积，重点检测金属杂质和颗粒物

11.蚀刻工艺用高纯氨：在蚀刻过程中使用，控制氯化物和硫酸盐含量

12.电子特气混合物中的高纯氨：与其他气体混合时，确保氨成分纯度和兼容性

检测方法

国际标准：

ASTMD1946-14气相色谱法测定气体组成

ISO6327:1981气体分析-水分测定-露点法

ASTMDJianCe2-95气体中氧含量的测定-电化学法

ISO8573-8:2019压缩空气-颗粒物计数

ASTMD7649-10气体中总烃含量的测定-火焰离子化检测法

ISO21087:2019气体分析-质谱法用于杂质检测

ASTME1479-16金属杂质分析-电感耦合等离子体法

ISO11541:2022气体中氯化物和硫酸盐测定-离子色谱法

ASTMD1071-98气体压力测试标准

ISO6143:2021气体分析-比较法用于浓度测定

国家标准：

GB/T14600-2009电子工业用气体高纯氨

GB/T5832.1-2016气体中微量水分的测定-电解法

GB/T8984-2008气体中氧、氮、氩的测定-气相色谱法

GB/T5275-2020气体分析-采样方法

GB/T3637-2021工业用高纯氨

GB/T23942-2021气体中金属杂质的测定-电感耦合等离子体质谱法

GB/T38523-2020气体中颗粒物计数-光散射法

GB/T11061-2021气体中总烃的测定-气相色谱法

GB/T13645-2021气体压力容器检验规范

GB/T20223-2021电子特气纯度分析通用要求

检测设备

1.气相色谱仪：型号GC-2020.用于纯度、氧、氮、二氧化碳和烃类分析，检测下限0.01ppm

2.露点水分分析仪：型号DMA-500.测量水分含量，范围-80°Cto+20°C露点，精度±0.1°C

3.质谱仪：型号MS-3000.用于痕量杂质检测，质量范围1-300amu，灵敏度0.1ppb

4.颗粒计数器：型号LPC-100.光散射法计数颗粒物，尺寸范围0.1-5μm，流量0.1-100L/min

5.电感耦合等离子体质谱仪：型号ICP-MS-800.检测金属杂质，元素范围锂至铀，检测限0.01ppb

6.离子色谱仪：型号IC-200.用于氯化物和硫酸盐分析，检测下限0.01ppm

7.压力测试系统：型号PTS-50.测量气体压力和气密性，压力范围0-10MPa，精度±0.1%

8.傅里叶变换红外光谱仪：型号FTIR-400.用于某些有机杂质检测，波数范围4000-400cm⁻¹

9.气体采样装置：型号GSA-100.确保无污染采样，流量控制精度±1%

10.电化学氧分析仪：型号EOA-200.专用于氧含量测定，范围0-1000ppm，精度±0.05ppm

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"电子级高纯氨质量控制测试"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。