检测项目

1.阈值电压漂移测试：初始阈值电压，应力后阈值电压，阈值电压偏移量

2.漏电流变化测试：关断态漏电流，亚阈值漏电流，栅极漏电流变化量

3.载流子迁移率退化测试：电子迁移率，空穴迁移率，迁移率衰减率

4.负偏置温度不稳定性测试：初始参数，应力后参数，参数恢复特性

5.正偏置温度不稳定性测试：阈值电压偏移，跨导退化，界面态密度变化

6.热载流子注入效应测试：衬底电流变化，饱和漏电流退化，击穿电压偏移

7.高温工作寿命测试：工作寿命前后参数对比，早期失效筛选，长期参数漂移

8.温度循环应力测试：极端温度下参数漂移，温度冲击后参数变化，热疲劳特性

9.高温高湿偏置测试：吸湿后电学参数偏移，绝缘电阻变化，漏电流增量

10.静态老化测试：长时间静态偏置参数漂移，漏电流增量，导通电阻变化

11.动态老化测试：开关特性变化，延迟时间偏移，动态功耗变化

12.经时介质击穿测试：击穿时间分布，击穿电压偏移，介质层退化评估

13.界面态密度变化测试：快界面态密度，慢界面态密度，界面缺陷产生率

14.接触电阻退化测试：接触孔电阻变化，链路电阻偏移，欧姆特性退化

检测范围

金属氧化物半导体场效应管、绝缘栅双极型晶体管、互补金属氧化物半导体器件、动态随机存取存储器、闪存芯片、微处理器、微控制器、模拟集成电路、数字集成电路、混合信号集成电路、晶圆片、裸芯片、功率二极管、晶闸管、硅锗器件、碳化硅器件、氮化镓器件、显示驱动芯片、电源管理芯片、传感器芯片

检测设备

1.参数分析仪：用于测量半导体器件的直流电学参数；具备高精度源测量单元，支持微安至皮安级电流检测。

2.高低温试验箱：提供器件测试所需的极端温度环境；具备宽温区控制能力，温度稳定性高，支持长时间连续运行。

3.高压源表：提供偏置应力所需的电压与电流；支持高电压大电流输出，具备脉冲与直流输出模式。

4.晶圆探针台：实现晶圆级器件的电学接触与测试；配备高精度探针与显微镜，支持真空吸附与温控卡盘。

5.可靠性测试系统：执行长时间偏置应力与老化测试；集成多通道独立控制，支持自动化测试流程与数据实时监测。

6.电容电压测量仪：评估介质层与界面特性的电容变化；支持高频与准静态电容测量，精确提取界面态密度。

7.脉冲发生器：提供动态应力测试所需的脉冲信号；具备快速上升沿与下降沿，支持复杂脉冲波形编辑。

8.示波器：观测器件在动态应力下的瞬态响应；具备高带宽与高采样率，支持多通道同步信号采集。

9.恒温恒湿试验箱：模拟湿热环境下的器件性能迁移；具备精确的温湿度控制系统，防止凝露对测试造成干扰。

10.数据采集与处理系统：记录并分析应力前后的参数变化；具备海量数据存储能力，支持自动化数据拟合与退化规律提取。