检测项目

1. 基础光学特性检测：可见光与近红外波段透过率、特定波长折射率、折射率均匀性、消光系数。

2. 表面形貌与质量检测：表面粗糙度、表面面形精度、表面疵病、划痕与凹坑深度。

3. 几何尺寸与轮廓检测：元件中心厚度、厚度均匀性、平面度、平行度、曲率半径。

4. 波前像差检测：透射波前误差、反射波前误差、系统波像差贡献。

5. 散射特性检测：双向散射分布函数、总积分散射、角度分辨散射。

6. 内部缺陷检测：体内气泡、杂质颗粒、裂纹、分层等宏观与微观缺陷。

7. 膜层性能检测：增透膜或反射膜的反射率、透过率、膜层附着力、耐磨性。

8. 激光损伤阈值检测：表面激光损伤阈值、体激光损伤阈值。

9. 环境稳定性检测：高低温循环后光学性能变化、湿热环境后透过率稳定性。

10. 材料均匀性检测：材料密度均匀性、化学成分分布均匀性。

11. 应力双折射检测：残余应力引起的双折射大小与分布。

检测范围

光学平面窗口、球形透镜与非球面透镜基板、光刻机投影物镜镜坯、激光窗口片、红外光学整流罩、光学棱镜、复杂异形光学元件毛坯、晶圆承载环、半导体设备用观察窗、复合光学系统衬底、耐高温光学元件、扩散板基材、精密光学平台组件

检测设备

1. 分光光度计：用于精确测量材料在宽光谱范围内的透过率与反射率；具备高分辨率与低杂散光特性。

2. 激光干涉仪：用于高精度测量光学元件的表面面形、波前像差以及厚度均匀性；通常采用相移干涉技术。

3. 白光干涉仪：用于非接触式测量表面三维形貌与纳米级粗糙度；适用于高反射率及透明样品表面。

4. 光学轮廓仪：用于测量表面微观轮廓、台阶高度及粗糙度；结合了显微成像与垂直扫描技术。

5. 积分球散射测量系统：用于测量光学元件的总积分散射值；可评估由表面粗糙度及内部缺陷引起的光散射损失。

6. 偏光应力仪：用于检测透明光学材料内部的残余应力及其分布；通过观察应力双折射条纹进行定量或定性分析。

7. 精密测厚仪：用于非接触式测量光学元件的中心厚度及多点厚度；通常采用电容或涡流测量原理。

8. 平行光管与自准直仪：用于检测光学元件的平行度、微小角度偏差及焦距等参数；是光学装调与检测的基础设备。

9. 激光共聚焦显微镜：用于高分辨率观察与测量表面微观缺陷、膜层结构及三维形貌；具有出色的纵向分辨能力。

10. 工业计算机断层扫描系统：用于无损检测材料内部的气孔、裂纹、夹杂物等三维缺陷分布；可生成样品内部结构的立体图像。