检测项目

1. 元素定性定量分析(原子序数3~92，检测限0.1~1 at%)

2. 化学键合态分析(能量分辨率0.1~0.3 eV)

3. 带隙结构测量(精度±0.1 eV)

4. 等离子体激元能量损失(分辨率0.05 eV)

5. 界面元素分布(空间分辨率0.2~1 nm)

检测范围

1. 二维材料：石墨烯、MoS2、h-BN薄膜

2. 半导体器件：Si/SiGe异质结、GaN/AlGaN界面

3. 纳米颗粒：金属催化剂(0.5~50 nm)

4. 薄膜材料：氧化物涂层(厚度10~200 nm)

5. 电池材料：正极材料单颗粒(Li、Co、Ni元素分布)

检测方法

1. GB/T 36326-2018 透射电子显微镜分析方法通则

2. ISO 13084:2018 表面化学分析 辉光放电质谱分析用校准方法

3. ASTM E2857-21 电子能量损失谱数据的采集和报告指南

4. ISO 21466:2019 微束分析 透射电子显微镜中电子能量损失谱分析方法

5. GB/T 38288-2019 纳米技术 纳米材料的透射电子显微镜/能谱分析方法

检测设备

1. 场发射透射电子显微镜(FEI Titan Themis 300)：加速电压80~300 kV，TEM点分辨率0.08 nm

2. 电子能量损失谱仪(Gatan GIF Quantum ER965)：能量分辨率0.05 eV，色散0.005~2 eV/channel

3. 单色器系统(FEI X-FEG monochromator)：能量展宽≤0.1 eV@200 kV

4. CCD相机(Gatan OneView IS)：像素数4096×4096，读出速度40 fps

5. 直接电子探测器(Gatan K2 Summit)：DQE 0.8@0.5 Nyquist，帧率40 fps

6. 球差校正器(CEOS CETCOR)：校正后分辨率≤0.08 nm@200 kV

7. 离子减薄仪(Gatan 695 PIPS)：离子能量0.1~6 keV，角度±10°

8. 超薄切片机(Leica EM UC7)：切片厚度10~100 nm精度±5 nm