半导体晶圆厂特殊气体测试

检测项目

1.纯度检测：气体纯度≥99.9999%，杂质总量≤1ppm，主要杂质如氮气≤0.1ppm、氧气≤0.05ppm

2.水分含量测定：水分浓度≤0.1ppm，露点温度≤-76°C，测量精度±0.01ppm

3.氧含量分析：氧气浓度≤0.05ppm，检测下限0.001ppm，使用电化学传感器

4.颗粒物浓度检测：颗粒尺寸≥0.1μm，浓度≤1个/立方米，采用激光散射原理

5.总烃含量测试：总烃浓度≤0.1ppm，甲烷当量计算，检测范围0.001-10ppm

6.金属杂质分析：金属离子如铁≤0.01ppb、铜≤0.005ppb、钠≤0.02ppb，使用ICP-MS技术

7.二氧化碳含量测量：CO₂浓度≤0.1ppm，红外吸收法，精度±0.01ppm

8.一氧化碳含量检测：CO浓度≤0.05ppm，气相色谱法，检测下限0.001ppm

9.氩气含量验证：氩气纯度≥99.999%，杂质如氮气≤0.5ppm，用于载气应用

10.氢气纯度测试：氢气纯度≥99.9999%，氧含量≤0.01ppm，水分≤0.05ppm

11.氯气杂质检测：氯气中水分≤0.1ppm，金属杂质≤0.05ppb，用于蚀刻工艺

12.氟气稳定性评估：氟气纯度≥99.9%，分解产物≤0.1%，高温测试至200°C

13.硅烷浓度分析：硅烷纯度≥99.999%，颗粒物≤5个/立方米，用于CVD沉积

14.磷烷安全性测试：磷烷浓度≥99.99%，毒性杂质如砷≤0.01ppm，泄漏率≤10⁻⁶Pa/s

15.砷烷纯度验证：砷烷纯度≥99.999%，金属含量≤0.1ppb，存储稳定性测试

检测范围

1.高纯度氮气：用于purge和载气，纯度≥99.9999%，关注水分和氧含量

2.高纯度氩气：用于溅射和沉积，纯度≥99.999%，检测金属杂质和颗粒物

3.硅烷气体：用于化学气相沉积，纯度≥99.999%，重点测试水分和颗粒浓度

4.磷烷气体：用于掺杂工艺，纯度≥99.99%，评估毒性和稳定性

5.砷烷气体：用于n型掺杂，纯度≥99.999%，检测砷含量和泄漏风险

6.氢气：用于还原和退火，纯度≥99.9999%，验证氧和水分含量

7.氧气：用于氧化工艺，纯度≥99.999%，检测烃类和颗粒物

8.氦气：用于检漏和载气，纯度≥99.999%，关注氖气杂质和纯度

9.氯气：用于蚀刻和清洗，纯度≥99.99%，测试水分和金属离子

10.氟气：用于高能蚀刻，纯度≥99.9%，评估分解产物和安全性

11.氨气：用于氮化工艺，纯度≥99.999%，检测水分和氧含量

12.一氧化二氮：用于氧化剂，纯度≥99.999%，验证烃类和颗粒物

13.三氟化氮：用于清洗气体，纯度≥99.99%，测试氟化物杂质和稳定性

14.六氟化硫：用于蚀刻和绝缘，纯度≥99.999%，检测水分和分解产物

15.硼烷气体：用于p型掺杂，纯度≥99.99%，关注毒性和纯度参数

检测方法

国际标准：

ASTMD1945-14气相色谱法测定气体组成

ISO8573-1:2019压缩空气纯度分级和测试

ASTMD5466-21气体中水分含量的测定

ISO10715:2022天然气中硫化合物分析

ASTMF1397-22半导体气体中金属杂质测试

ISO14644-1:2022洁净室颗粒物计数

ASTMD7649-19气体中总烃含量气相色谱法

ISO19230:2020气体中氧含量测定

ASTME260-21气相色谱通用方法

ISO6141:2022气体分析校准混合气要求

国家标准：

GB/T14600-2021电子工业用气体测试方法

GB/T3863-2021工业氮气纯度分析

GB/T3634.1-2021氢气纯度检测方法

GB/T8979-2021纯氮中杂质分析

GB/T14850-2021工业用气体采样方法

GB/T16942-2021电子气体中水分测定

GB/T38521-2021气体中颗粒物计数

GB/T3864-2021工业氩气检验规则

GB/T14601-2021电子气体中金属杂质分析

GB/T16943-2021高纯氦气检测方法

检测设备

1.气相色谱仪：型号GC-5000.用于气体组成分析，检测下限0.001ppm，支持多组分同时测量

2.质谱仪：型号MS-8000.检测金属杂质和同位素，精度±0.1ppb，质量范围1-500amu

3.水分分析仪：型号MA-300.测量气体中水分，露点范围-80°C至20°C，精度±0.1°C

4.颗粒计数器：型号PC-200.计数颗粒物浓度，尺寸范围0.1-5μm，流量0.1-100L/min

5.氧分析仪：型号OA-100.检测氧含量，范围0.001-1000ppm，使用燃料电池传感器

6.总烃分析仪：型号THA-400.测量烃类化合物，检测下限0.001ppm，FID检测器

7.电感耦合等离子体质谱仪：型号ICP-MS-900.分析金属杂质，元素浓度下限0.001ppb

8.气体纯度分析系统：型号GPA-600.集成多传感器，同时测试纯度、水分、氧含量，精度±1%

9.泄漏检测仪：型号LD-700.测量气体泄漏率，灵敏度10⁻⁶Pa/s，压力范围0-1MPa

10.校准气体发生器：型号CG-800.产生标准气体混合物，浓度精度±0.5%，用于设备校准

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"半导体晶圆厂特殊气体测试"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。