半导体工艺用水检查

检测项目

1.物理性能测试：电阻率、电导率、温度、总溶解固体、浊度、颜色、气味、表面张力、密度、粘度、蒸发残渣、过滤性能、流量稳定性、压力损失、热稳定性等。

2.化学性能测试：pH值、酸碱度、氧化还原电位、氯离子含量、硫酸根离子含量、硝酸根离子含量、钠离子含量、钾离子含量、钙离子含量、镁离子含量、铁离子含量、铜离子含量、铝离子含量、锌离子含量、重金属总量等。

3.微生物测试：总菌落计数、细菌内毒素、真菌计数、酵母菌计数、大肠菌群、嗜热菌、厌氧菌、生物膜形成倾向、微生物活性、灭菌效果、生物降解性、病原体检测等。

4.颗粒物测试：颗粒物计数、颗粒物尺寸分布、悬浮固体含量、沉降性固体、过滤效率、清洁度等级、颗粒物形态、光学颗粒检测、电子显微镜分析、激光衍射分析等。

5.离子浓度测试：阳离子浓度、阴离子浓度、总离子含量、离子平衡、电导率相关性、离子交换效率、反渗透去除率、超滤性能、纳滤效果、电渗析性能等。

6.有机物测试：总有机碳、可溶性有机碳、挥发性有机化合物、半挥发性有机化合物、多环芳烃、农药残留、溶剂残留、聚合物含量、表面活性剂、生物耗氧量、化学耗氧量等。

7.气体含量测试：溶解氧含量、二氧化碳含量、氮气含量、氢气含量、氧气含量、甲烷含量、硫化氢含量、氨含量、挥发性气体总量、气体渗透性、气液平衡等。

8.pH值与酸碱度测试：pH值稳定性、缓冲容量、酸碱中和能力、腐蚀倾向、电化学特性、离子强度、水解常数、酸碱成分分析、中和效率等。

9.电导率与电阻率测试：电导率精度、电阻率范围、温度补偿、电极性能、极化效应、溶液浓度相关性、电化学阻抗、介电常数、电泳迁移率等。

10.总有机碳测试：总有机碳浓度、氧化效率、催化性能、紫外吸收、红外分析、高温燃烧法、低温氧化法、在线监测、校准曲线等。

11.细菌内毒素测试：内毒素含量、鲎试剂反应、热原检测、无菌条件、培养方法、光谱分析、生物传感器、酶联免疫吸附、快速检测等。

12.溶解氧测试：溶解氧浓度、氧传输速率、氧化还原反应、生物活性影响、腐蚀控制、曝气效率、膜分离性能、电化学检测等。

13.硅含量测试：总硅含量、可溶性硅、胶体硅、硅酸盐浓度、硅沉积倾向、蚀刻影响、清洗效果、光谱分析、原子吸收等。

14.金属杂质测试：铁、铜、铝、锌、镍、铬、铅、镉、汞、砷等金属离子浓度、总量分析、形态分布、毒性评估、去除效率、沉淀特性等。

15.放射性测试：总α放射性、总β放射性、特定核素含量、辐射剂量、衰变产物、环境本底、安全阈值、监测频率等。

检测范围

超纯水、去离子水、反渗透水、蒸馏水、高纯水、工艺清洗用水、蚀刻用水、化学机械抛光用水、光刻胶清洗用水、晶圆清洗用水、封装用水、测试用水、回收用水、原水、预处理水、终端用水、循环用水、废水处理出水、实验室用水、注射用水、半导体制造用水、电子级水、高纯工艺水。

检测方法/标准

国际标准：

ASTM D5127、ISO 3696、IEC 60746、ASTM D1193、ISO 7888、ASTM D5907、ISO 9308、ASTM D3976、ISO 10304、IEC 62321、ASTM D4327、ISO 17294、ASTM D5176、ISO 14911、IEC 60529、ASTM D5540、ISO 15682、IEC 61000

国家标准：

GB/T JianCe46、GB/T 5750、GB/T 14848、GB/T 17323、GB/T 17324、GB/T 17325、GB/T 17326、GB/T 17327、GB/T 17328、GB/T 17329、GB/T 17330、GB/T 17331、GB/T 17332、GB/T 17333、GB/T 17334、GB/T 17335

检测设备

1.电导率仪：测量水溶液的电导率与电阻率；高精度电极，温度自动补偿，数据记录功能。

2.总有机碳分析仪：检测水样中总有机碳含量；紫外氧化或高温催化，在线监测能力。

3.颗粒计数器：统计水中颗粒物数量与尺寸分布；激光光源，多通道分析，实时数据显示。

4.离子色谱仪：分析阴阳离子浓度；高效分离柱，电导检测器，自动化进样系统。

5.原子吸收光谱仪：测定金属元素含量；火焰或石墨炉原子化，标准曲线校准。

6.细菌计数器：进行微生物菌落计数；培养皿法或流式细胞术，无菌操作环境。

7.pH计：测量水样pH值与酸碱度；玻璃电极，自动温度校正，稳定性高。

8.溶解氧测定仪：检测水中溶解氧浓度；电化学传感器，温度压力补偿，便携式设计。

9.紫外可见分光光度计：分析有机物与特定离子；光谱扫描，定量计算，软件支持。

10.质谱仪：用于痕量元素与化合物分析；高分辨率质谱，离子源可选，数据处理能力强。

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

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