检测项目

1.透过性能检测：光谱透过率，总透过率，特定波段透过率，透过均匀性，透过损耗。

2.反射性能检测：光谱反射率，全反射率，镜面反射率，漫反射率，反射均匀性。

3.折射特性检测：折射率，双折射，折射率均匀性，色散特性，光程差。

4.吸收特性检测：吸收系数，本征吸收，杂质吸收，带边吸收，波段吸收特征。

5.表面形貌检测：表面粗糙度，表面平整度，表面轮廓，面形偏差，局部起伏。

6.表面缺陷检测：划痕，麻点，崩边，裂纹，污染附着物。

7.内部缺陷检测：夹杂物，气泡，微裂纹，位错相关缺陷，内部散射源。

8.散射性能检测：总散射，前向散射，后向散射，雾度，散射均匀性。

9.偏振特性检测：偏振透过率，消光比，偏振相关损耗，偏振保持特性，偏振方向响应。

10.均匀性检测：厚度均匀性，光学响应均匀性，表面质量均匀性，缺陷分布均匀性，晶向相关光学一致性。

11.晶体质量光学评估：应力双折射，光学畸变，晶格不均引起的光学异常，缺陷密度分布，局部异常区域识别。

12.膜层光学性能检测：膜层透过率，膜层反射率，膜层厚度，膜层附着均匀性，膜层缺陷。

检测范围

碳化硅单晶、碳化硅晶锭、碳化硅晶片、碳化硅衬底、碳化硅抛光片、碳化硅外延片、碳化硅窗口片、碳化硅透镜基片、碳化硅反射镜基片、碳化硅光学窗口、碳化硅滤光片基材、碳化硅镀膜片、碳化硅红外光学元件、碳化硅高温光学元件、碳化硅陶瓷光学部件

检测设备

1.紫外可见近红外分光光度计：用于测定样品在不同波段的透过率、反射率和吸收特性，适合光谱响应分析。

2.傅里叶变换红外光谱仪：用于检测红外波段透过与吸收特征，可分析材料红外响应及杂质吸收信息。

3.椭偏仪：用于测定折射率、消光系数和膜层厚度，适合薄膜与表面光学常数表征。

4.激光共聚焦显微镜：用于观察表面微观形貌和缺陷分布，可进行表面轮廓与局部结构分析。

5.白光干涉仪：用于检测表面粗糙度、平整度和面形参数，适合高精度非接触测量。

6.偏光显微镜：用于识别晶体内部应力、双折射现象及结构异常，适合晶体质量光学评估。

7.散射测量系统：用于测定样品总散射、角分布散射和雾度，评估表面及内部散射水平。

8.光学显微镜：用于检查划痕、崩边、麻点、裂纹等表面缺陷，适合常规外观与缺陷筛查。

9.厚度测量仪：用于测定样品厚度及厚度均匀性，为光学路径和均匀性分析提供基础数据。

10.光学轮廓仪：用于测量表面轮廓、台阶高度和面形变化，适合精细表面结构检测。