检测项目

1. 基本线性尺寸测量：长度、宽度、高度、厚度、直径（外径/内径）、深度。

2. 平面度与平整度检测：陶瓷基板表面平面度、端面平面度、整体翘曲度。

3. 平行度与垂直度检测：相对平面间的平行度、侧面与底面的垂直度、端面间垂直度。

4. 孔径与孔位尺寸检测：通孔/盲孔直径、孔深度、孔间距、孔到边距、孔位置度。

5. 槽与键槽尺寸检测：槽宽、槽深、槽长、槽对称度、槽位置度。

6. 圆度与圆柱度检测：轴承球体圆度、圆柱面圆度、整体圆柱度误差。

7. 球体尺寸检测：球直径、球体表面轮廓偏差、球径变动量。

8. 轮廓度检测：复杂曲面轮廓度、叶片型线轮廓、异形结构轮廓比对。

9. 跳动检测：径向圆跳动、端面全跳动、斜向复合跳动。

10. 角度与锥度检测：倾斜面角度、锥面锥度、斜面间夹角。

11. 表面粗糙度检测：轮廓算术平均偏差、轮廓最大高度、微观轮廓间距。

12. 厚度均匀性检测：薄膜涂层厚度分布、基板厚度多点测量与均匀性分析。

13. 位置度与对称度检测：多孔位置度、结构对称中心对称度、阵列分布位置精度。

14. 直线度检测：导轨面直线度、棱边直线度、轴线直线度。

15. 同轴度检测：多段圆柱面同轴度、孔与轴配合同轴度。

检测范围

氮化硅陶瓷基板、氮化硅绝缘片、氮化硅轴承球与滚子、氮化硅密封环、氮化硅喷嘴、氮化硅切削刀片、氮化硅坩埚、氮化硅研磨球、氮化硅导轨滑块、氮化硅加热器组件、氮化硅医疗植入体球头、氮化硅陶瓷活塞、氮化硅涡轮转子叶片、氮化硅散热基板、氮化硅结构陶瓷件、氮化硅绝缘子、氮化硅连杆衬套、氮化硅光学窗口支架、氮化硅牙科种植体基台

检测设备

1. 光学影像测量仪：用于二维尺寸及轮廓的快速非接触测量，适用于平面工件。

2. 三坐标测量机：用于复杂工件三维空间尺寸、形状及位置公差的高精度检测。

3. 激光三维扫描仪：用于获取复杂曲面、自由曲面的全尺寸三维点云数据。

4. 轮廓形状测量仪：用于工件表面二维轮廓形状、粗糙度及台阶高度的精密测量。

5. 圆度圆柱度测量仪：专用于回转体零件的圆度、圆柱度、同心度等形位误差的高精度分析。

6. 表面粗糙度测量仪：用于量化评估工件表面微观几何形状特征及粗糙度参数。

7. 工具显微镜：用于微小工件或特征的二维尺寸、角度及形貌的精密观察与测量。

8. 测长机：用于高精度线性尺寸的直接测量或量具的比对校准。

9. 高度规与千分尺：用于基础线性尺寸的接触式测量，操作便捷。

10. 平面度干涉仪：利用光波干涉原理，高精度测量光学平面及高平整度表面的平面度误差。