检测项目

1. 纯度分析：主含量测定，总杂质含量测定，在线纯度实时监控。

2. 氯硅烷同系物检测：四氯化硅测定，八氯三硅烷测定，多氯硅烷同分异构体分析。

3. 碳氢杂质分析：甲烷含量测定，乙烷含量测定，挥发性有机碳杂质检测。

4. 含氧杂质检测：微量水分测定，氧气含量分析，硅氧烷类杂质监测。

5. 痕量金属卤化物分析：氯化铝杂质测定，氯化铁杂质测定，重金属氯化物筛查。

6. 腐蚀性气体杂质检测：氯化氢含量测定，游离氯含量分析，酸性气体杂质监控。

7. 惰性气体背景分析：氮气残留测定，氦气残留测定，氩气微量杂质分析。

8. 挥发性杂质监控：低沸点杂质定量分析，高沸点残留物在线监测。

9. 在线工艺稳定性评估：组分浓度波动率测定，实时杂质超标报警限值检测。

10. 颗粒物衍生分析：气溶胶前驱体检测，易聚合成核杂质测定。

检测范围

电子级六氯乙硅烷、高纯六氯乙硅烷、工业级六氯乙硅烷、半导体前驱体材料、化学气相沉积原料、原子层沉积用硅源、气化发生器出口气体、钢瓶包装气相源、管道输送在线气体、纯化合成中间体、精馏提纯气相馏分、薄膜沉积工艺尾气、外延生长用气相源、多晶硅生产副产物

检测设备

1. 在线气相色谱仪：用于混合气体的实时分离与定量分析；具备高频次连续自动进样功能。

2. 热导检测器：用于测定较高浓度的无机气体杂质；具有响应速度快及通用性强的特点。

3. 脉冲放电氦电离检测器：用于分析极微量的永久性气体及低沸点杂质；提供高灵敏度的痕量杂质响应。

4. 火焰光度检测器：用于特定杂质的高灵敏度分析；能够实现痕量级成分的精准捕捉。

5. 在线质谱联用系统：用于复杂未知杂质的定性与定量确证；支持多组分同步扫描与实时追踪。

6. 自动气体进样阀：用于实现生产线管道气体的精确定量引入；具备耐腐蚀与死体积小的特性。

7. 柱温箱控制系统：用于维持色谱分离过程中的精确温度环境；支持多阶程序升温以优化分离效率。

8. 钝化处理色谱柱：用于腐蚀性硅烷气体的组分分离；表面经特殊处理以防止样品吸附与反应。

9. 载气纯化装置：用于提供超高纯度的色谱分析背景气体；能够有效滤除微量氧气与水分干扰。

10. 在线数据采集与处理终端：用于实时记录色谱信号并自动积分计算；具备趋势图绘制与工艺报警功能。