检测项目
1.表面形貌分析:三维形貌观察,高度测量,阶梯高度分析。
2.粗糙度表征:均方根粗糙度,算术平均粗糙度,最大波峰高度。
3.力学性能检测:杨氏模量分布,硬度测量,粘附力分析。
4.电学性质测试:表面电势分布,导电性成像,电容特性分析。
5.磁学性能表征:磁畴结构观察,磁力梯度测量。
6.压电特性分析:压电响应相位,压电幅值图像。
7.摩擦性能测试:摩擦力成像,表面润滑性评估。
8.热学性质表征:局部温度分布,热传导性能分析。
9.相位成像分析:组分分布识别,材料非均匀性检测。
10.纳米加工刻蚀:表面纳米刻划,纳米压印操作。
11.液相环境成像:生物分子观察,原位化学反应监测。
12.单分子力谱:分子间结合力,聚合物链拉伸分析。
检测范围
硅晶圆、薄膜涂层、纳米粉体、光伏电池、石墨烯、碳纳米管、生物细胞、蛋白质分子、聚合物材料、陶瓷表面、金属合金、光学元件、集成电路、存储介质、催化剂负载、复合材料、纤维结构、胶体粒子、半导体器件、柔性电子
检测设备
1.原子力显微镜主机:执行纳米级扫描并记录探针与表面的相互作用信号。
2.扫描器:利用压电陶瓷实现样品或探针在三维空间的高精度位移控制。
3.探针系统:搭载微悬臂与针尖,作为感知样品表面特性的核心传感部件。
4.激光检测模块:通过反射激光监测悬臂位移,实现信号的精确捕获。
5.减震系统:隔离环境振动干扰,确保纳米级成像的稳定性和分辨率。
6.环境控制单元:调节测试环境的温度、湿度及气氛,满足特定实验要求。
7.数据处理工作站:运行专业软件进行图像重建、数据拟合与定量分析。
8.样品台:支撑并固定各类样品,提供多维调节以定位测试区域。
9.液相测试槽:提供液体环境,用于生物样品或原位化学反应的动态观察。
10.信号放大器:增强微弱的物理传感器信号,提高测试的信噪比与灵敏度。