检测项目

1.表面均匀性检测：表面色泽一致性，明暗分布均匀性，区域反差变化，表面纹理均一性

2.厚度均匀性检测：整体厚度分布，局部厚度偏差，边缘厚度变化，面内厚度波动

3.平整度检测：表面平面度，局部起伏，高低差分布，翘曲趋势

4.外观缺陷检测：划痕，裂纹，崩边，缺口，压痕

5.表面洁净度检测：颗粒附着，异物残留，污渍分布，表面污染程度

6.晶面状态检测：晶面条纹，晶面台阶，表面粗糙区域，局部异常反射

7.边缘质量检测：边缘完整性，边缘毛刺，边缘微裂，倒角区域外观

8.孔洞与夹杂检测：表面孔洞，气孔痕迹，夹杂显现，局部异常点

9.色差与光学外观检测：综合色差，局部色斑，光泽一致性，反光异常区域

10.粗糙度均匀性检测：表面粗糙度分布，区域粗糙差异，加工纹路一致性，微观起伏状态

11.尺寸外观关联检测：长宽尺寸偏差，圆度表现，对角区域一致性，边界轮廓状态

12.内部缺陷外观显现检测：隐裂显现，分层痕迹，内部异常投影，缺陷扩展迹象

检测范围

碳化硅单晶衬底、碳化硅外延片、碳化硅晶片、碳化硅抛光片、碳化硅研磨片、碳化硅切割片、碳化硅籽晶、碳化硅单晶材料、碳化硅导电型衬底、碳化硅半绝缘衬底、碳化硅薄片、碳化硅基片、碳化硅镜面片、碳化硅倒角片、碳化硅加工片

检测设备

1.光学显微镜：用于观察表面划痕、裂纹、颗粒和局部缺陷，适合外观细节检查与缺陷定位。

2.表面形貌测量仪：用于测量表面起伏、粗糙度和微观轮廓，评估表面均匀性与加工状态。

3.厚度测量仪：用于获取样品整体厚度及多点厚度分布，分析面内厚度一致性。

4.平整度测量仪：用于检测平面度、翘曲度和局部高低差，评估样品整体几何外观状态。

5.表面缺陷检测仪：用于识别表面异常点、划伤、斑痕和颗粒污染，提高缺陷检出能力。

6.高倍观察设备：用于放大观察微小裂纹、崩边及边缘细节，辅助判定细微外观缺陷。

7.轮廓测量仪：用于测量边缘轮廓、倒角形貌和局部截面变化，评估边缘加工质量。

8.洁净度检测设备：用于分析表面颗粒数量、污染分布和异物附着情况，支持洁净状态评估。

9.光学成像设备：用于采集样品整体图像并进行区域对比，适合均匀性与色差分析。

10.透视观察设备：用于辅助发现隐裂、分层痕迹和内部异常显现，支持外观综合判定。