检测项目
1.重金属元素限量:铅,镉,汞,铬。
2.六价铬限量:六价铬,水溶性六价铬,表面处理层六价铬。
3.卤素含量:总氯,总溴,可提取氯,可提取溴。
4.溴系阻燃剂:多溴联苯,多溴二苯醚,六溴环十二烷。
5.邻苯二甲酸酯:邻苯二甲酸二丁酯,邻苯二甲酸丁苄酯,邻苯二甲酸二异丁酯,邻苯二甲酸二异壬酯。
6.多环芳烃:萘,菲,荧蒽,苯并芘。
7.全氟化合物:全氟辛酸,全氟辛烷磺酸,全氟壬酸,全氟己烷磺酸。
8.有机锡化合物:三丁基锡,二丁基锡,三苯基锡,二辛基锡。
9.挥发性有机残留:苯,甲苯,二甲苯,乙酸乙酯。
10.醛酮类残留:甲醛,乙醛,丙酮,环己酮。
11.离子污染物:氯离子,溴离子,氟离子,钠离子,铵离子。
12.其他有害元素:砷,铍,锑,硒。
检测范围
硅片、外延片、晶圆、芯片裸片、集成电路封装体、功率半导体器件、存储器件、传感器芯片、引线框架、键合丝、焊球、焊锡膏、底部填充胶、包封树脂、塑封料、陶瓷基板、载板、光刻胶、清洗剂、蚀刻液
检测设备
1.电感耦合等离子体质谱仪:用于痕量金属元素定量分析,适合铅、镉、汞、砷等低含量测定。
2.电感耦合等离子体发射光谱仪:用于多元素同步测定,适合金属和无机元素的常规定量分析。
3.气相色谱质谱联用仪:用于挥发性和半挥发性有机物分离鉴别,适合邻苯二甲酸酯、多环芳烃和溶剂残留分析。
4.液相色谱质谱联用仪:用于热不稳定或高沸点有机物测定,适合全氟化合物、溴系阻燃剂和有机锡分析。
5.离子色谱仪:用于阴阳离子分离定量,适合氯离子、溴离子、氟离子和钠离子污染评估。
6.紫外可见分光光度计:用于显色反应后的吸光度测定,常用于六价铬等项目的定量分析。
7.傅里叶变换红外光谱仪:用于材料官能团识别和成分初筛,适合聚合物封装材料快速判别。
8.微波消解仪:用于固体和复合样品前处理,可提高金属元素消解效率和重复性。
9.热脱附进样装置:用于样品受热释放挥发组分并导入分析系统,适合表面残留和制程溶剂筛查。
10.能量色散荧光光谱仪:用于快速筛查元素组成,适合来料和成品中的金属及卤素初步评估。