检测项目

1.整体平整度：全表面面形偏差，基准面偏离量，最大峰谷值，区域平面一致性。

2.局部平面误差：局部起伏量，微区不平度，局部凹陷，局部凸起。

3.表面波纹度：中尺度波纹起伏，周期性波纹特征，波纹分布均匀性，波纹峰谷变化。

4.表面粗糙关联项：微观表面起伏，表面纹理均匀性，精加工痕迹影响，微区形貌稳定性。

5.翘曲度：边缘翘起量，中心拱起量，受力后形变趋势，自由状态翘曲分布。

6.厚度均匀性：厚度差异，边中厚度变化，厚度分布均匀性，厚度波动情况。

7.平行度：两表面平行偏差，端面相对平行状态，局部平行一致性，整体平行误差。

8.边缘形貌稳定性：边缘塌陷，边缘卷曲，边部平整连续性，边缘加工影响区形貌。

9.应力引起的面形变化：内应力变形表现，退火后面形变化，应力释放形变，受温变面形响应。

10.装配适配平面性：贴合面平整状态，接触面间隙分布，装配面均匀接触性，支撑面稳定性。

11.抛光质量相关面形：抛光后面形保真度，抛光区域一致性，工艺引入形貌偏差，抛光残余变形。

12.镀膜前基底平整状态：基底面形基础值，镀前局部缺陷影响，镀覆适应性平面条件，表面连续性。

检测范围

平板光学玻璃、窗口玻璃、滤光片玻璃、盖板玻璃、棱镜玻璃基材、透镜毛坯、平面反射镜基片、分光元件基片、保护玻璃、显示模组用光学玻璃、成像系统用光学玻璃、激光器件用光学玻璃、精密仪器用平面玻璃、镀膜基底玻璃、石英光学玻璃、超白光学玻璃、耐热光学玻璃、微晶光学玻璃

检测设备

1.平面干涉仪：用于测量光学玻璃表面整体面形和平整度分布，可获取面形偏差与峰谷变化信息。

2.激光共聚焦形貌仪：用于表面微观形貌扫描，可分析局部起伏、微区不平度及细微形貌变化。

3.白光干涉仪：用于高精度测量表面三维形貌，适合评估平整度、波纹度及微观高度差。

4.轮廓测量仪：用于获取截面轮廓曲线，可分析边缘塌陷、局部凹凸及表面轮廓变化。

5.电子水平测量装置：用于辅助评估样品基准放置状态，减少安装误差对平整度结果的影响。

6.厚度测量仪：用于测定样品不同位置厚度值，可分析厚度均匀性与边中厚度差异。

7.偏振应力观察仪：用于观察材料内部应力分布，辅助分析应力对面形和平整状态的影响。

8.高精度平台：用于样品稳定支撑与基准定位，保障平整度检测过程中的放置一致性与重复性。

9.表面粗糙度测量仪：用于评估表面微观纹理和细小起伏，辅助分析精加工质量与表面状态。

10.影像测量仪：用于测量样品外形尺寸、边缘状态及关键区域位置，辅助进行边缘形貌与装配面分析。