半导体行业超纯水金属离子检测

检测项目

1.钠离子浓度检测：检测限值≤0.1ppb，允许偏差±0.01ppb，使用高纯水标准溶液校准

2.钾离子浓度检测：检测限值≤0.1ppb，允许偏差±0.01ppb，要求无背景污染

3.钙离子浓度检测：检测限值≤0.1ppb，允许偏差±0.01ppb，需避免容器吸附

4.镁离子浓度检测：检测限值≤0.1ppb，允许偏差±0.01ppb，使用惰性材料容器

5.铁离子浓度检测：检测限值≤0.05ppb，允许偏差±0.005ppb，防止氧化干扰

6.铜离子浓度检测：检测限值≤0.05ppb，允许偏差±0.005ppb，要求超净环境

7.锌离子浓度检测：检测限值≤0.05ppb，允许偏差±0.005ppb，避免采样污染

8.镍离子浓度检测：检测限值≤0.05ppb，允许偏差±0.005ppb，使用高纯酸处理

9.铬离子浓度检测：检测限值≤0.05ppb，允许偏差±0.005ppb，需控制pH值

10.铝离子浓度检测：检测限值≤0.1ppb，允许偏差±0.01ppb，防止颗粒物干扰

11.铅离子浓度检测：检测限值≤0.01ppb，允许偏差±0.001ppb，使用同位素稀释法

12.镉离子浓度检测：检测限值≤0.01ppb，允许偏差±0.001ppb，要求低温保存样品

检测范围

1.硅晶圆清洗超纯水：用于半导体晶圆制备，要求金属离子总量≤1ppb

2.光刻胶稀释超纯水：涉及光刻工艺，检测钠、钾、钙离子≤0.1ppb

3.化学机械抛光液超纯水：用于CMP过程，铁、铜离子≤0.05ppb

4.蚀刻液配制超纯水：涉及湿法蚀刻，铬、镍离子≤0.05ppb

5.晶圆生长超纯水：用于外延生长，铝、锌离子≤0.1ppb

6.清洗剂超纯水：用于设备清洗，铅、镉离子≤0.01ppb

7.去离子水系统输出水：整体水质监控，所有金属离子≤0.1ppb

8.高纯化学试剂超纯水：用于试剂稀释，镁、钙离子≤0.1ppb

9.半导体设备冷却水：防止设备污染，铁、铜离子≤0.05ppb

10.超纯水储存罐水：长期储存检测，钠、钾离子≤0.1ppb

11.实验室分析用超纯水：用于痕量分析，所有离子≤0.01ppb

12.再生水回用超纯水：回收水处理，锌、镍离子≤0.05ppb

检测方法

国际标准：

ASTMD5127-13标准测试方法用于水中可溶性钠、钾、锂、铵离子测定

ISO17294-2:2022水质应用电感耦合等离子体质谱法测定元素含量

ASTMD1976-12电感耦合等离子体原子发射光谱法测定水中痕量元素

ISO11885:2007水质电感耦合等离子体光学发射光谱法测定33种元素

ASTMD5673-10电感耦合等离子体质谱法测定水中痕量元素

ISO15586:2003水质石墨炉原子吸收光谱法测定痕量元素

ASTMD3559-08原子吸收光谱法测定水中镉、钴、铬、铜、铁、铅、锰、镍、锌

ISO9964-1:1993水质钠和钾测定第1部分：原子吸收光谱法

ASTMD857-17铝测定方法用于水样

ISO10304-1:2022水质离子色谱法测定溶解性阴离子和阳离子

国家标准：

GB/T5750.6-2023生活饮用水标准检验方法金属指标

GB/T11904-2023水质钾和钠的测定火焰原子吸收分光光度法

GB/T11905-2023水质钙和镁的测定原子吸收分光光度法

GB/T7475-2023水质铜、锌、铅、镉的测定原子吸收分光光度法

GB/T14673-2023水质铁、锰的测定火焰原子吸收分光光度法

GB/T15503-2023水质钒的测定石墨炉原子吸收分光光度法

GB/T13896-2023水质铅的测定示波极谱法

GB/T17378.4-2023海洋监测规范第4部分：海水分析

GB/T16488-2023水质石油类和动植物油类的测定红外分光光度法

GB/T17133-2023水质总铬的测定二苯碳酰二肼分光光度法

检测设备

1.电感耦合等离子体质谱仪：型号ICP-MS-2000，检测下限0.001ppb，用于多元素同时分析

2.电感耦合等离子体光学发射光谱仪：型号ICP-OES-500，检测范围0.1-1000ppb，精度±0.01ppb

3.原子吸收光谱仪：型号AAS-300，火焰法和石墨炉法，检测下限0.01ppb

4.离子色谱仪：型号IC-400，用于阴离子和阳离子分析，分辨率0.1ppb

5.超纯水采样系统：型号SPS-100，惰性材料构成，防止污染，采样体积精度±0.1mL

6.痕量金属分析仪：型号TMA-600，集成预处理功能，检测下限0.005ppb

7.石墨炉原子吸收光谱仪：型号GFAAS-700，高温原子化，用于ppb级检测

8.高分辨率质谱仪：型号HRMS-800，质量分辨率≥10000，用于同位素分析

9.在线水质监测系统：型号OWMS-900，实时监测金属离子，数据输出频率1Hz

10.超净工作台：型号CWS-100，洁净度Class1，用于样品处理防污染

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"半导体行业超纯水金属离子检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。