检测项目

1.激光束与旋转轴偏移量测量：分辨率0.1μm，允许偏差0.01mm

2.动态旋转同轴度检测：最大转速3000rpm下同轴度≤0.005mm

3.线性导轨轴向平行度验证：测量长度1m内误差≤0.02mm/m

4.主轴径向跳动量测定：采用接触式探针测量跳动量≤1μm

5.工作台平面度与轴线垂直度校准：平面度误差≤0.03mm/m

检测范围

1.光学镜头调焦机构组件

2.CNC加工中心主轴系统

3.高精度滚珠丝杠传动装置

4.半导体晶圆对准平台

5.医疗器械旋转驱动单元

检测方法

ASTME2919-14《激光跟踪系统性能测试标准》规定的多站位测量法

ISO230-3:2020《机床检验通则第3部分》动态精度评定方法

GB/T17421.2-2016《机床检验通则第2部分》几何精度数字化测量规范

ASTMB89-2021《坐标测量机性能评价标准》空间对角线测量法

GB/T1184-1996《形状和位置公差》同轴度公差带评定准则

检测设备

HexagonLeitzPMM-C三坐标测量机：配备HP-L-8.9探针系统，空间测量精度(1.9+L/250)μm

RenishawXL-80激光干涉仪：线性分辨率0.001μm，最大测量速度4m/s

KeyenceLK-G5000激光位移计：采样频率392kHz，重复精度0.02μm

MitutoyoLH-600测长仪：量程600mm，内置温度补偿系统精度