检测项目

1.固体含量测定：采用热重分析法（TGA），测量温度范围30-600℃，精度0.1%

2.粘度测试：旋转粘度计测定25℃条件下动态粘度值，量程1-10000mPas

3.热稳定性分析：差示扫描量热仪（DSC）测试玻璃化转变温度（Tg），升温速率10℃/min

4.残留溶剂含量：气相色谱质谱联用仪（GC-MS）检测甲苯/丙酮等溶剂残留量≤50ppm

5.颗粒度分布：激光粒度分析仪测量粒径范围0.1-1000μm，D50值偏差≤2%

检测范围

1.正性光刻胶：适用于g线（436nm）、i线（365nm）及KrF（248nm）波段产品

2.负性光刻胶：包含环化橡胶系与酚醛树脂系两大类别

3.化学放大光刻胶：ArF（193nm）与EUV（13.5nm）级专用材料

4.厚膜光刻胶：膜厚≥10μm的封装用光敏材料

5.纳米压印光刻胶：特征尺寸≤50nm的紫外固化型材料

检测方法

ASTME1131：热重分析法测定非挥发性物质含量

ISO2884-1：旋转粘度计法测定非牛顿流体粘度特性

GB/T1723-1993：涂料粘度测定通用方法

JISK5600-2-1：树脂材料玻璃化转变温度测试规范

SEMIP35：半导体用化学品颗粒度测试指南

检测设备

梅特勒TGA/DSC3+：同步热分析仪，温度分辨率0.1℃

布鲁克D8ADVANCE：X射线衍射仪，角度重复性0.0001

马尔文Mastersizer3000：激光粒度分析仪，测量精度1%

安捷伦7890B/5977B：GC-MS联用系统，检出限达ppb级

安东帕MCR302：流变仪，扭矩分辨率0.1nNm

岛津UV-2600i：紫外可见分光光度计，波长精度0.1nm

日立SU5000：场发射电镜，分辨率0.8nm@15kV

珀金埃尔默STA8000：同步热分析仪，最大