检测项目

1.泄漏率测试：测量单位时间内气体渗透量，阈值范围110⁻⁷~110⁻Pam/s

2.压力衰减测试：监测真空系统压力变化速率，标准限值≤0.5kPa/min（GB/T15171）

3.氦质谱检漏：采用示踪气体法定位微泄漏点，灵敏度达510⁻mbarL/s

4.渗透系数测定：评估材料气体透过特性（ASTMD1434），精度3%

5.真空度保持测试：验证系统在10⁻⁴~10⁻⁶Pa真空度下的稳定性（ISO20485）

检测范围

1.航空航天部件：火箭燃料舱体、卫星热控层组件

2.汽车零部件：新能源车电池包壳体、氢燃料电池双极板

3.电子元器件：半导体ALD反应腔体、MEMS封装结构

4.医疗器械：人工心脏瓣膜封装体、CT设备X射线管

5.包装材料：药品泡罩铝箔、锂电铝塑膜（GB/T21529）

检测方法

ASTME499-20：氦质谱检漏法规范（灵敏度≥110⁻⁹mbarL/s）

ISO20485:2017：真空系统泄漏率分级与测试流程

GB/T12604.7-2021：无损检测术语-泄漏检测标准

GB/T15171-2023：软包装件密封性能试验方法（压差法）

JISZ2331:2019：氦气累积法真空检漏技术规范

检测设备

INFICONELT3000氦质谱检漏仪：分辨率0.1g/a，适用10⁻mbarL/s级泄漏检测

PfeifferASM340全自动检漏系统：集成双通道质谱仪与真空泵组

AgilentVSSeries真空计：量程覆盖110⁻~110⁻Torr

LACOTechVLT-9000真空泄漏测试台：支持GB/T15171标准压差法测试

ULVACDTC-21数字式检漏控制器：可编程多通道数据采集系统

EdwardsTIC系列涡轮分子泵：极限真空度达510⁻⁸mbar

MKS925系列电容薄膜规：精度0.12%读数+0.05%满量程

CETADCG-800数字式氦气回收装置：回收效率≥95%