检测项目
背向散射强度：测量范围0.1-1000 counts/s，灵敏度±0.5%
散射角度分布：检测角度范围120°-180°，分辨率≤0.1°
能量谱分析：能量分辨率1.5 keV（@5.9 keV），能域覆盖5-100 keV
时间分辨特性：时间窗口10 ns-10 ms，采样率1 GHz
偏振特性分析：斯托克斯参数精度±2%，波长范围400-1600 nm
检测范围
金属材料：铝合金（AA6061-T6）、钛合金（Ti-6Al-4V）的晶界缺陷检测
复合材料：碳纤维增强聚合物（CFRP）层间分层检测
陶瓷材料：氧化铝（Al₂O₃）烧结体孔隙率测定
高分子材料：聚乙烯（UHMWPE）交联度评估
半导体材料：硅晶圆（Si〈100〉）位错密度检测
检测方法
ASTM E2861-16：X射线背向散射成像法
ISO 18516:2019：表面粗糙度背向散射评价
GB/T 23415-2009：金属材料电子背散射衍射分析方法
ISO 20274:2017：激光背向散射涂层厚度测量
GB 17378.6-2007：海洋沉积物β背向散射检测
检测设备
Thermo Fisher Scientific DXR3 Raman显微镜：532/785 nm双波长激光，空间分辨率1 μm
Bruker D8 Discover X射线衍射仪：Cu靶Kα辐射（λ=1.5406 Å），2θ角范围0-160°
Olympus EPOCH 650超声检测仪：10 MHz聚焦探头，最大穿透深度200 mm
Malvern Mastersizer 3000激光粒度仪：散射角测量范围0.02-175°，粒径检测0.01-3500 μm
Horiba LabRAM HR Evolution光谱仪：共聚焦空间滤波，光谱分辨率0.35 cm⁻¹