灵敏度检测

检测项目

力学响应灵敏度：

• 微应变检测：分辨率≥0.1με，线性度≤±0.3% FS（参照ISO 4965）
• 应力阈值响应：最小触发应力0.05MPa，迟滞误差≤1.5%

电学特性灵敏度：

• 电流检测限：DC 10pA~100nA（MDL=0.2pA，EN 61298）
• 电压响应精度：量程±10mV，非线性度≤±0.05%

化学传感灵敏度：

• 气体检测限：NO₂≥5ppb，CO≥10ppb（EPA TO-17）
• 离子选择响应：K⁺检测限0.1μmol/L，斜率≥55mV/decade

光学响应灵敏度：

• 光强检测：动态范围180dB，最小照度0.0001lux
• 光谱分辨率：紫外-可见区≤0.05nm，红外区≤0.5cm⁻¹

热响应特性：

• 温度分辨率：±0.01℃（-50~150℃），响应时间≤200ms
• 热流检测限：≥0.1W/m²（ASTM E1134）

磁灵敏度：

• 磁场强度：分辨率10nT，线性误差≤±0.8%（IEC 60404-8）
• 磁滞损耗：重复性偏差≤0.3%

表面性能：

• 粗糙度响应：Ra检测范围0.01-10μm，重复性≤±2nm
• 粘附力阈值：最小检测力0.1μN（ISO 15114）

生物分子检测：

• 蛋白结合灵敏度：检测限≥0.1pg/mL（CLSI EP17）
• DNA杂交效率：信噪比≥25:1（Ct值偏差≤0.3）

环境响应：

• 湿度迟滞：循环偏差≤±0.5%RH（20-95%RH）
• 气压分辨率：±0.1Pa（范围300-1200hPa）

动态响应：

• 频率特性：-3dB带宽≥100kHz，相位失真≤1°
• 振动检测：加速度分辨率0.001g（ISO 16063）

检测范围

1. 压电材料： 锆钛酸铅（PZT）陶瓷及聚合物薄膜，重点检测电荷输出系数（d₃₃≥500pC/N）与电压响应线性度

2. MEMS传感器： 微机电加速度计/陀螺仪芯片，验证满量程输出（FSO）偏差及零点温漂（≤±0.01%/℃）

3. 光学探测器： InGaAs/硅光电二极管，评估量子效率（QE≥85%）与暗电流（≤0.1nA/cm²）

4. 电化学传感器： 气体/生物传感电极，测试工作电极灵敏度（≥5nA/ppm）与响应恢复时间（≤30s）

5. 应变敏感合金： 康铜/卡玛箔材，测定应变因子（GF=2.0±0.1）及疲劳寿命（≥10⁷次）

6. 热释电材料： 钽酸锂/硫酸三甘肽晶体，测量电流响应率（≥5μA/W）与探测优值（F_D≥1×10⁻⁹ cm·Hz¹ᐟ²/W）

7. 磁阻薄膜： 巨磁阻（GMR）/隧道结（TMR）器件，验证磁场灵敏度（≥5%/Oe）与巴克豪森噪声

8. 荧光探针： 量子点/有机染料，量化荧光量子产率（Φ≥0.9）及Stokes位移精度

9. 离子敏感场效应管： ISFET芯片，检测pH灵敏度（≥55mV/pH）与长期漂移（≤0.5mV/h）

10. 超导量子器件： 约瑟夫森结阵列，测试相干时间（≥100μs）及相移分辨率（≤0.01°）

检测方法

国际标准：

• ISO 16063-21:2022 振动与冲击传感器校准方法
• ASTM E2867-14(2020) 光电探测器光谱响应测量
• IEC 60747-14-3:2019 半导体传感器参数测试
• ISO 17526:2020 光学系统星光灵敏度检测

国家标准：

• GB/T 13823.20-2019 振动传感器动态灵敏度校准
• GB/T 33701-2017 光电探测器光谱响应度测量
• GB/T 18459-2019 传感器主要静态性能指标
• GB/T 26195-2019 MEMS压阻式压力传感器性能

方法差异说明：ISO 16063-21采用激光干涉法校准加速度计灵敏度，不确定度≤0.7%；而GB/T 13823.20允许使用背靠背比较法，不确定度放宽至≤1.2%。ASTM E2867规定光谱响应测试需在暗电流小于1%条件下进行，GB/T 33701则要求暗电流小于5%。

检测设备

1. 纳米压痕仪： TI-950型（位移分辨率0.01nm，载荷分辨率50nN）

2. 锁相放大器： SR865A型（频率范围1mHz-4MHz，动态储备≥120dB）

3. 高阻计： KEITHLEY 6517B型（电流测量下限0.01fA，电压源±1000V）

4. 激光干涉仪： RENISHAW XL-80型（线性精度±0.5ppm，最大速度4m/s）

5. 光谱响应系统： OL770-LED型（波长范围250-2500nm，光强稳定性±0.2%）

6. 低温探针台： CRX-4K型（温度范围4K-500K，直流至67GHz射频测试）

7. 原子力显微镜： BRUKER Dimension Icon型（力分辨率10pN，扫描范围90μm）

8. 动态信号分析仪： SI-1550型（频率精度±1ppm，动态范围160dB）

9. 恒电位仪： GAMRY 1010E型（电流范围±2A，电位分辨率10μV）

10. 六维力传感器： ATI Gamma型（Fₓ/Fᵧ量程±200N，F_z量程±600N，分辨率0.0125N）

11. 红外热像仪： FLIR X8580型（热灵敏度0.015℃，帧频180Hz）

12. 矢量网络分析仪： KEYSIGHT PNA-X型（频率范围10MHz-67GHz，动态范围140dB）

13. 超低噪放大器： FEMTO DHPCA-100型（增益60dB，等效输入噪声0.4pA/√Hz）

14. 微纳加工平台： 4英寸MEMS探针台（定位精度±0.1μm，支持DC-40GHz测试）

15. 量子效率测试系统： QEX10型（波长精度±0.2nm，EQE测量不确定度≤1.5%）

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"灵敏度检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。