检测项目

金属杂质检测：

• 痕量金属分析：Fe、Cu、Na、K、Al、Ca（≤0.1ppb，SEMI C35）
• 重金属总量：Cd、Hg、Pb、Cr⁶⁺（≤10ppb，SEMI C51）
• 稀土元素：La、Ce、Nd（≤0.01ppb，ICP-MS法）

• 粒径分布：≥0.1μm颗粒（≤5个/mL，SEMI C39）
• 大颗粒计数：≥0.5μm颗粒（≤1个/mL）
• 膜过滤残留：0.05μm滤膜重量法（增量≤0.1mg）

• 阴离子分析：F⁻、Cl⁻、NO₃⁻、SO₄²⁻（≤1ppb，IEC 60749-26）
• 阳离子分析：NH₄⁺、Mg²⁺、Zn²⁺（≤0.5ppb）
• 可滴定酸/碱：酸碱消耗量（≤0.1μeq/g）

• 总有机碳：TOC（≤1ppb，SEMI C40）
• 特定有机物：NMP、DMSO、PGMEA（≤10ppb，GC-MS法）
• 残留溶剂：甲醇、丙酮、IPA（≤50ppm）

• 密度：±0.001g/cm³（20℃）
• 粘度：±0.5cP（25℃）
• 折光率：±0.0002RIU

• 透光率：≥99.8%（193nm/248nm）
• 吸光度：≤0.01/cm（DUV波段）
• 荧光背景：≤10ppb quinine sulfate当量

• 电阻率：≥18.2MΩ·cm（25℃）
• 电荷载流子：电子/空穴迁移率（偏差≤5%）
• 氧化还原电位：±10mV控制范围

• 硼同位素比：¹⁰B/¹¹B≤0.01
• 硅同位素：²⁸Si≥99.99%
• 磷同位素：³¹P≥99.999%

• 光刻胶分辨率：≤28nm L/S（EUV）
• 蚀刻均匀性：±1.5%（300mm wafer）
• CMP去除率：150±10nm/min

• 热稳定性：60℃/48h杂质增量≤5%
• 光稳定性：254nm辐照金属析出≤0.05ppb
• 存储寿命：25℃颗粒增长≤1个/mL/月

检测范围

1. 光刻胶系列： ArF/KrF/EUV光刻胶，重点检测金属离子、有机残留及曝光性能

2. 蚀刻液： 磷酸系/氢氟酸系混合液，侧重金属杂质及蚀刻速率稳定性

3. CMP浆料： 氧化硅/铜抛光液，核心检测颗粒粒径分布及zeta电位

4. 显影液： TMAH基溶液，严格监控阴离子含量及金属杂质

5. 清洗剂： SC1/SC2混酸，重点检测颗粒残留及氧化物去除率

6. 剥离液： DMSO基溶液，主要控制有机挥发物及金属腐蚀性

7. 电镀液： 铜/锡银镀液，关键检测添加剂浓度及金属纯度

8. 高纯溶剂： PGMEA/EL，核心指标为水分含量及微粒控制

9. 掺杂源： 磷烷/硼烷气体，侧重同位素纯度及金属杂质

10. 沉积前驱体： TEOS/TDMAT，重点监控氯含量及热分解特性

11. 封装材料： 环氧模塑料，主要检测离子杂质及α粒子释放

12. 硅片处理液： HF/HNO₃混酸，核心控制金属溶出及表面粗糙度

检测方法

国际标准：

• SEMI C35-0709 超纯水金属杂质测试
• SEMI C39-1108 液体颗粒计数方法
• ASTM D4327-17 阴离子色谱法
• ISO 17081:2014 氢渗透测试
• IEC 60749-26:2013 湿化学品金属含量

• GB/T JianCe46.7-2013 电子级水痕量金属测定
• GB/T 33086-2016 水处理剂痕量杂质测定
• GB/T 37249-2018 电子化学品颗粒测试
• GB/T 40111-2021 电子特气杂质分析
• GB/T 40423-2021 超净高纯试剂规范

检测设备

1. 电感耦合等离子体质谱仪： Agilent 8900型（检出限0.01ppt，质量范围2-260amu）

2. 液体颗粒计数器： PSS AccuSizer 780AD（检测粒径0.15-400μm，流速1mL/min）

3. 离子色谱仪： Thermo Scientific Dionex ICS-6000（阴离子检出限0.1ppb）

4. 总有机碳分析仪： Shimadzu TOC-L CPH（检测范围0.03-30,000ppb）

5. 气相色谱质谱联用仪： Agilent 8890-5977B（质量精度±0.1Da）

6. 紫外分光光度计： PerkinElmer Lambda 365（波长范围190-1100nm，带宽0.05nm）

7. 高纯水电阻率仪： Mettler Toledo SevenExcellence（测量范围0.01-20MΩ·cm）

8. 激光粒度分析仪： Malvern Mastersizer 3000（测量范围0.01-3500μm）

9. 热重分析仪： Netzsch STA 449 F5（温度范围RT-1650℃，精度0.1μg）

10. 全自动电位滴定仪： Metrohm 905 Titrando（分辨率0.1μL）

11. 原子吸收光谱仪： PerkinElmer PinAAcle 900T（石墨炉检出限0.1ppb）

12. 傅里叶红外光谱仪： Thermo Nicolet iS50（光谱范围7800-350cm⁻¹）

13. 荧光分光光度计： Horiba Fluorolog-QM（检测限0.1ppb硫酸奎宁）

14. 超净环境监测系统： Lighthouse Solair 3100（0.1μm颗粒检测效率100%）

15. 热脱附气相色谱仪： Markes TD-100（捕集阱温度-30-400℃）