检测项目

轮廓算术平均偏差（Ra）：0.01-25μm

轮廓最大高度（Rz）：0.1-100μm

轮廓均方根偏差（Rq）：0.02-30μm

轮廓最大谷深（Rv）：0.05-50μm

轮廓单元平均宽度（Sm）：0.002-25mm

检测范围

金属加工件：发动机缸体、轴承滚道、齿轮齿面

陶瓷基板：电子封装基板、热障涂层

高分子材料：医疗导管内壁、光学镜片模具

复合材料：碳纤维增强构件、陶瓷基复合材料

涂层表面：PVD镀层、热喷涂涂层

检测方法

接触式轮廓法：ASTM D7127、ISO 4287、GB/T 3505

激光干涉法：ISO 25178-602、GB/T 39643

白光干涉法：ASME B46.1、GB/T 32453

原子力显微术：ISO 11039、GB/T 31227

比较样块法：GB/T 1031、GB/T 2523

检测设备

泰勒霍普森Surftest SJ-410：接触式轮廓仪，分辨率0.8nm

布鲁克ContourGT-K：白光干涉三维形貌仪，Z轴重复性0.01nm

奥林巴斯LEXT OLS5000：激光共聚焦显微镜，横向分辨率120nm

三丰Surftest SJ-210：多参数轮廓仪，符合ISO 4288标准

基恩士VK-X1000：3D表面分析系统，支持ISO 25178参数组