多层介质钝化检测

检测项目

膜层厚度测量：范围0.5-5.0μm，精度±0.05μm

耐腐蚀性测试：中性盐雾试验≥500h，CASS试验≥240h

附着力测试：划格法0-5级，划痕法临界载荷≥20N

成分分析：元素含量检测误差≤0.5wt%

孔隙率检测：单位面积缺陷密度≤5个/cm²

检测范围

半导体器件：GaN/SiC功率器件钝化层

光学镀膜：SiO₂/Ta₂O₅多层介质膜

金属防腐涂层：Al₂O₃/ZrO₂复合涂层

电子元件封装：SiNx/PI叠层结构

医疗器械涂层：DLC/TiN生物兼容镀层

检测方法

ASTM B117-19 盐雾试验标准

ISO 1463-2021 膜厚X射线荧光测定法

GB/T 9286-2021 划格法附着力测试

ISO 2178-2016 磁性基体非磁性镀层测厚

GB/T 16545-2021 金属腐蚀产物清除方法

检测设备

Filmetrics F20-UV膜厚测量仪：光谱范围190-1700nm

Bruker D8 ADVANCE X射线衍射仪：成分分析精度0.01%

CS350电化学工作站：阻抗测试频率10μHz-1MHz

Elcometer 506盐雾试验箱：温度控制±1℃

Microscratch Tester划痕仪：最大载荷50N，位移分辨率0.1μm

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"多层介质钝化检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。