检测项目
氙气(Xe)纯度检测:纯度≥99.999%,杂质(O₂、N₂、H₂O)≤5 ppm
氪气(Kr)浓度比例分析:Kr/Ar混合比误差≤±0.5%
氮气(N₂)残留量测定:残留量≤10 ppm(适用于卤素灯填充气体)
卤素气体(Cl₂、Br₂)含量检测:浓度范围0.1-5.0%,精度±0.02%
气体泄漏率测试:氦质谱检漏仪灵敏度≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s
检测范围
金属卤化物灯填充气体(NaI、ScI₃与稀有气体混合物)
高压氙气短弧灯(Xe纯度≥99.995%)
LED封装保护气体(N₂、Ar混合气体)
紫外线杀菌灯填充气体(Kr/Ne混合比例1:4)
工业探伤用高压氪气灯(Kr纯度≥99.99%)
检测方法
ASTM D7941-14:惰性气体中氧、氮杂质的气相色谱分析法
ISO 19230:2020:气体混合物中卤素含量的红外光谱测定法
GB/T 3637-2019:高纯氙气中微量水分的露点检测法
ASTM E260-96:傅里叶变换红外光谱(FTIR)气体定量分析
GB/T 8979-2008:稀有气体纯度分析的质谱联用法
检测设备
气相色谱仪(GC-2030):配备TCD检测器,分辨率0.1 ppm,支持多组分气体分离
四极杆质谱仪(Agilent 5977B):质量范围1-1050 amu,检测限≤0.01 ppb
激光光谱气体分析仪(LGA-4500):波长范围1250-1650 nm,实时监测气体浓度
氦质谱检漏仪(UL1000 Fab):最小可检漏率5×10⁻¹² Pa·m³/s
傅里叶红外光谱仪(Nicolet iS50):光谱分辨率0.09 cm⁻¹,支持卤素定量分析