研磨盘转速精度检测(200-600rpm,误差≤±2%)
研磨压力均匀性检测(5-20N范围内波动≤±0.5N)
表面粗糙度控制(Ra≤0.05μm,按ISO 4287评定)
样品平整度检测(平面度误差≤1μm/50mm)
冷却系统效能检测(温升≤5℃/连续运行1小时)
金属材料:钢铁、铝合金、钛合金等铸件/锻件
陶瓷材料:氧化铝、碳化硅等烧结体
复合材料:金属基/陶瓷基层状材料
电子元件:半导体晶圆、封装基板
涂层材料:热喷涂、PVD/CVD镀层截面
ASTM E3-11:金相试样制备标准方法
ISO 14706:2014:表面化学分析-硅片表面元素污染测定
GB/T 13298-2015:金属显微组织检验方法
ASTM B748-90:测量金属涂层厚度方法
GB/T 4340.1-2009:金属维氏硬度试验第1部分
Struers LaboPol-5:全自动研磨/抛光一体机,支持压力梯度编程
Buehler EcoMet 250:配备数字压力传感器,分辨率0.1N
Mitutoyo Surftest SJ-410:表面粗糙度仪,测量范围Ra 0.01-50μm
Zeiss Axio Imager M2m:金相显微镜,搭配50-1000倍物镜
Keyence VHX-7000:三维超景深显微系统,平面度分析误差±0.1μm
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。
以上是与金相研磨机检测相关的简单介绍,具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。