检测项目
研磨盘转速精度检测（200-600rpm，误差≤±2%）
研磨压力均匀性检测（5-20N范围内波动≤±0.5N）
表面粗糙度控制（Ra≤0.05μm，按ISO 4287评定）
样品平整度检测（平面度误差≤1μm/50mm）
冷却系统效能检测（温升≤5℃/连续运行1小时）
检测范围
金属材料：钢铁、铝合金、钛合金等铸件/锻件
陶瓷材料：氧化铝、碳化硅等烧结体
复合材料：金属基/陶瓷基层状材料
电子元件：半导体晶圆、封装基板
涂层材料：热喷涂、PVD/CVD镀层截面
检测方法
ASTM E3-11：金相试样制备标准方法
ISO 14706:2014：表面化学分析-硅片表面元素污染测定
GB/T 13298-2015：金属显微组织检验方法
ASTM B748-90：测量金属涂层厚度方法
GB/T 4340.1-2009：金属维氏硬度试验第1部分
检测设备
Struers LaboPol-5：全自动研磨/抛光一体机，支持压力梯度编程
Buehler EcoMet 250：配备数字压力传感器，分辨率0.1N
Mitutoyo Surftest SJ-410：表面粗糙度仪，测量范围Ra 0.01-50μm
Zeiss Axio Imager M2m：金相显微镜，搭配50-1000倍物镜
Keyence VHX-7000：三维超景深显微系统，平面度分析误差±0.1μm