检测项目

彗差系数（Coma Coefficient）：测量范围为±0.5λ至±5λ（λ=632.8nm），精度±0.02λ

波前畸变（Wavefront Error）：检测RMS值0.01λ~2λ，空间分辨率≤1mm

离焦量（Defocus）：范围±10μm，重复性误差≤0.1μm

非对称像差（Asymmetric Aberration）：Zernike系数Z7/Z8，检测阈值0.05λ

光轴偏移（Optical Axis Deviation）：角度偏差检测精度±5arcsec

检测范围

光学玻璃透镜：包括球面/非球面透镜，直径φ5-φ500mm

聚合物光学材料：PMMA、PC等模压成型光学件

半导体晶圆：光刻机镜头、EUV光学系统组件

薄膜涂层：AR/IR镀膜基片的表面形变

金属反射镜：高能激光系统用铜/铝基反射镜面形

检测方法

干涉测量法：ISO 14999-4:2015光学元件波前检测规范

哈特曼波前传感法：GB/T 26182-2010激光光束质量诊断方法

刀口检验法：ASTM F529-03(2020)光学系统像差评估标准

夏克-哈特曼传感器法：ISO 10110-9:2016光学元件公差规范

条纹反射法：GB/T 34878-2017自由曲面光学元件检测规程

检测设备

Zygo Verifire MST干涉仪：波长632.8nm，PV精度λ/100，支持动态像差分析

Trioptics Comet 1000：基于ISO 14999标准，最大检测孔径300mm

4D Technology AccuFiz：激光波长532nm，采样速率1kHz，适用于振动环境

Hamamatsu C10910D波前传感器：分辨率1024×1024像素，动态范围±5λ

NanoMap 500LS白光干涉仪：垂直分辨率0.1nm，扫描速度10μm/s