检测项目

几何尺寸精度：六边形边长公差±0.005mm，角度误差≤±0.05°

表面粗糙度：Ra≤0.02μm（有效工作面），Rz≤0.1μm

面形精度：PV值≤λ/4（@632.8nm），RMS≤λ/20

光学均匀性：Δn≤5×10⁻⁶（全口径测试）

平行度误差：端面平行差≤3″，侧面平行差≤10″

检测范围

光学玻璃棱镜：H-K9L、ZF52、Fused Silica等材质

晶体棱镜：CaF₂、MgF₂、LiNbO₃单晶材料

激光谐振腔棱镜：Nd:YAG、Ti:Sapphire专用棱镜

红外棱镜：Ge、ZnSe、Si等红外光学材料

微结构棱镜：MEMS加工棱镜阵列（单元尺寸≤0.5mm）

检测方法

GB/T 1185-2020：光学零件表面疵病检测规范

ISO 10110-8:2020：光学元件面形公差表示方法

ASTM E903-20：材料透射比和反射比标准测试方法

GB/T 7661-2009：光学零件气泡度检测方法

ISO 14997:2017：光学表面缺陷检测国际标准

检测设备

三坐标测量机：Mitutoyo CMM-2000，测量精度±0.5μm

激光干涉仪：Zygo Verifire HD，波长632.8nm，分辨率λ/1000

白光轮廓仪：Bruker Contour Elite，垂直分辨率0.1nm

分光光度计：PerkinElmer Lambda 1050，波长范围175-3300nm

数字式自准直仪：Trioptics Autocollimator XL-80，角分辨力0.1″