检测项目

纯度分析：六氯二硅烷主成分含量≥99.5%（气相色谱法，GC-FID）

氯含量测定：总氯含量≤0.1%（离子色谱法，IC）

挥发性杂质检测：包括SiHCl3、SiCl4等副产物（GC-MS联用）

水分含量：H2O≤10ppm（卡尔费休库仑法）

密度测定：1.50-1.55g/cm³（25℃, 振蕩管密度计法）

检测范围

半导体级高纯六氯二硅烷原料

有机硅聚合物合成中间体

化学气相沉积（CVD）工艺用前驱体

电子特气混合组分

医药中间体杂质控制样品

检测方法

ASTM E29-20：化学物质纯度测定标准方法

ISO 18473-3:2019：电子特气中金属杂质分析

GB/T 6283-2008：化工产品水分测定通用方法

GB/T 37249-2018：电子工业用六氯二硅烷技术要求

ASTM D6806-02(2020)：气相色谱-质谱联用分析挥发性有机物

检测设备

Agilent 7890B气相色谱仪：配备FID检测器，用于主成分定量分析

Thermo Scientific ICS-6000离子色谱系统：测定氯离子及阴离子杂质

Shimadzu GCMS-QP2020 NX：气相色谱-质谱联用仪，检测痕量有机杂质

METTLER TOLEDO V30卡尔费休水分仪：精度0.1μg水，符合GB/T 6283

Anton Paar DMA 4500M密度计：温度控制±0.01℃，密度分辨率0.0001g/cm³