检测项目
表面粗糙度（Ra值范围：0.01-0.1μm）
面型精度（平面度误差≤0.05μm/mm²）
划痕密度（单位面积缺陷数≤3个/cm²）
光泽度（GU值≥95@60°入射角）
残余应力（拉应力≤2.5GPa，压应力≤3.8GPa）
检测范围
单晶金刚石切削刀具（车刀、铣刀等）
CVD金刚石光学窗口片（厚度0.3-5mm）
金刚石复合片（PDC）基体表面
珠宝级钻石刻面抛光面
半导体用金刚石散热衬底（4-6英寸晶圆）
检测方法
ASTM E430-2017 表面光泽度测试标准
ISO 25178-2:2022 表面形貌非接触测量规范
GB/T 29554-2013 超硬磨料制品表面质量检测方法
GB/T 23488-2009 金刚石微粉粒度检测
ISO 14705:2016 精细陶瓷表面粗糙度测试
检测设备
Zygo NewView 9000白光干涉仪：三维表面形貌重建（分辨率0.1nm）
Keyence VK-X1000激光共聚焦显微镜：亚微米级缺陷分析
Bruker ContourGT-K光学轮廓仪：非接触式粗糙度测量
Malvern Panalytical Mastersizer 3000：纳米级抛光液残留检测
Shimadzu XRD-7000 X射线衍射仪：残余应力定量分析