检测项目

真空度范围检测：1×10⁻¹⁰~1×10⁻³ Pa量程覆盖能力验证

电离电流稳定性：连续工作8小时波动值≤±0.5%

线性度误差检测：全量程范围内偏差≤±1.2%FS

灵敏度偏差校准：与NIST标准源对比误差≤±0.8%

响应时间测定：压力阶跃变化90%恢复时间≤200ms

检测范围

半导体材料：硅晶圆、GaAs衬底真空镀膜腔体

真空镀膜设备：磁控溅射靶材室、电子束蒸发源

高真空泵组：涡轮分子泵、低温泵真空系统

航天器密封部件：推进剂贮箱、舱门密封组件

医疗灭菌设备：环氧乙烷灭菌舱真空维持系统

检测方法

ASTM E296-17：静态膨胀法校准电离规线性度

ISO 3529:2021：动态流导法测定极限真空度

GB/T 3163-2018：四极质谱对比法验证残余气体成分

JJG 2024-2019：阶跃压力法测试系统响应时间

IEC 60331-2:2022：电磁兼容性干扰下的稳定性测试

检测设备

INFICON XTC-12：宽量程（1×10⁻¹⁰~1000 Pa）复合真空计，配备双通道电离规

MKS Baratron 626A：参考级电容薄膜规，精度±0.12%读数

Agilent 5977B GC/MS：残余气体分析系统，检测限达1×10⁻¹¹ Torr

Leybold TURBOVAC 361：分子泵组，极限真空5×10⁻¹⁰ mbar

Fluke 725Ex：本安型过程校准器，输出分辨率0.001%FS