检测项目

氦气纯度检测：≥99.999%（体积分数）

水分含量检测：≤5 ppm（露点-76℃）

氧含量检测：≤3 ppm（体积分数）

氢含量检测：≤1 ppm（体积分数）

总烃含量检测：≤0.5 ppm（甲烷当量）

氩气残留检测：≤10 ppm（体积分数）

氮气残留检测：≤5 ppm（体积分数）

检测范围

半导体材料：单晶硅生产保护气

金属焊接：钛合金TIG焊接保护气

医疗设备：MRI超导磁体冷却介质

航空航天：燃料系统泄漏检测介质

科研仪器：气相色谱载气

核工业：反应堆冷却剂纯度监测

检测方法

气相色谱法：ASTM E260、GB/T 8981

质谱分析法：ISO 6974、GB/T 5832.3

激光光谱法：ISO 21438、GB/T 34521

露点测定法：ASTM E337、GB/T 5832.2

氦质谱检漏法：GB/T 15823

化学发光法：ISO 11500

检测设备

Agilent 7890B气相色谱仪：多组分杂质同步检测

Thermo Scientific ISQ 7000质谱仪：ppb级痕量分析

Michell Optidew Vision露点仪：-100℃精度测量

Leybold Phoenix L300i氦检漏仪：5×10⁻¹² mbar·L/s灵敏度

Siemens Ultramat 23红外分析仪：非分光式烃类检测

HORIBA VA-3000激光气体分析仪：原位在线监测系统