检测项目

辐照剂量率：0.1-1000 Gy/h（可调范围）

温度梯度范围：-196°C（液氮）至1200°C（高温炉）

元素扩散深度：0.1 nm-100 μm（TOF-SIMS测量）

表面形貌粗糙度：Ra ≤ 10 nm（AFM分析）

辐射诱导缺陷密度：1010-1016 cm-3（TEM定量）

检测范围

核反应堆结构材料：锆合金包壳、304/316L不锈钢

半导体器件：SiC基板、GaN外延层

放射性医疗设备：钴源治疗头、钨准直器

航天器热控涂层：SiO2/Al2O3多层膜

电子封装材料：SnAgCu焊料、Au/Ni/Cu金属化层

检测方法

ASTM E521-16：带电粒子辐照损伤试验方法

ISO 12749-3:2021：核能系统材料中子辐照评估

GB/T 26168.1-2010：电子元件辐射老化试验规程

IEC 60544-5:2022：绝缘材料辐射耐受性分级

JJG 774-2020：X/γ射线辐照剂量计检定规程

检测设备

高能电子辐照加速器：Varian Clinac 2100C，最大能量20 MeV

高温真空辐射炉：Thermo Scientific Lindberg Blue M，控温精度±1°C

场发射扫描电镜：蔡司Sigma 500，分辨率0.8 nm@15 kV

X射线能谱仪：牛津仪器X-Max 80，元素检测范围B-U

飞行时间二次离子质谱：ION-TOF 5，深度分辨率＜1 nm