检测项目

轮廓算术平均偏差（Ra）：0.025-6.3μm

微观不平度十点高度（Rz）：0.1-25μm

轮廓均方根偏差（Rq）：0.02-8.0μm

最大轮廓峰谷高度（Rt）：0.05-50μm

最大单点高度（Rmax）：0.01-30μm

检测范围

金属材料：汽车发动机缸体、轴承滚道等

高分子材料：医疗器械表面、密封件

陶瓷材料：半导体晶圆、切削刀具涂层

精密零件：液压阀芯、光学导轨

光学元件：镜头模组、激光反射镜

检测方法

接触式轮廓法：ASTM E1155、ISO 4287、GB/T 3505

非接触式光学法：ISO 25178、GB/T 33523

比较样块法：ISO 8503-1、GB/T 6060.2

显微镜分析法：ASTM F1811、GB/T 10610

激光扫描法：ISO 13565-2、GB/T 12472

检测设备

泰勒霍普森Surftest SJ-410：接触式轮廓仪，量程±800μm，分辨率0.8nm

布鲁克Contour GT-K：白光干涉仪，垂直分辨率0.1nm，扫描面积10×10mm

奥林巴斯OLS5000：激光共聚焦显微镜，Z轴精度±0.5μm，放大倍率10800×

基恩士VK-X1000：3D表面形貌仪，测量速度10ms/点，支持ISO 25178参数组

三丰Surftest SV-3200：便携式粗糙度仪，符合JIS B0601-2001标准