检测项目
表面辉光强度（范围：0.1-1000 cd/m²）
辉光放电阈值电压（范围：50-5000 V）
辉光光谱分布（波长范围：200-1000 nm）
辉光衰减时间（分辨率：1 μs-100 s）
表面电荷密度（测量精度：±0.1 pC/mm²）
检测范围
半导体材料（GaN、SiC等宽禁带半导体）
光学镀膜（AR膜、ITO导电膜等）
绝缘介质（环氧树脂、聚酰亚胺薄膜）
显示器件（OLED、Micro-LED基板）
高压设备（绝缘子、变压器套管）
检测方法
ASTM E2593-19 电致发光材料辉光特性标准测试
ISO 18525:2020 光学材料表面放电检测规范
GB/T 26179-2021 显示器件辉光值测定方法
IEC 60664-4 绝缘材料局部放电检测导则
JIS C2151-2022 电子材料辉光光谱分析规程
检测设备
Keithley 2636B 双通道源表（电压输出范围：±200 V，电流分辨率：10 fA）
Ocean Optics Maya2000 Pro光谱仪（灵敏度：0.1光子/计数，波长精度：±0.3 nm）
Agilent 4155C半导体参数分析仪（最大电压：200 V，最小电流量程：1 pA）
Thermo Scientific Evolution 201恒温箱（温控范围：-70℃~300℃，精度±0.1℃）
Hitachi F-7000荧光分光光度计（扫描速度：24000 nm/min，信噪比＞800:1）