检测项目

泄漏率测试：测量范围1×10⁻⁹~1×10⁻¹² Pa·m³/s

压力保持测试：工作压力0.1~10 MPa（绝压）

氦气渗透率分析：温度范围-50℃~200℃

多通道同步检漏：最大支持16个独立测试单元

循环寿命测试：累计循环次数≥5000次

检测范围

金属密封件（法兰/焊接接头/阀门）

真空设备（镀膜腔体/粒子加速器）

新能源组件（燃料电池双极板/锂电池外壳）

航天器件（推进剂贮箱/舱体密封结构）

医用包装（无菌器械袋/药品泡罩）

检测方法

ASTM E499-19：标准氦质谱真空检漏方法

ISO 20486:2017：泄漏量校准规范

GB/T 12604.7-2021：无损检测术语-泄漏检测

GB/T 34637-2017：真空技术氦质谱检漏方法

ASME BPVC Section V Art.10：承压设备检漏规程

检测设备

INFICON HLD5000：四极杆质谱仪，分辨率0.5 amu

LEYBOLD PHOENIX L300i：集成式真空系统（极限真空5×10⁻⁸ mbar）

Aglient 990：便携式检漏仪（响应时间＜1s）

CETA DC06：双通道氦回收系统（回收率≥95%）

TESCAN VEGA3：扫描电镜联用系统（定位精度±0.1μm）