检测项目
电流密度分布偏差：测量单位面积电流值差异范围（±5%以内）
表面电阻均匀性：同一平面内电阻波动值（≤±10%）
接触电阻一致性：多点接触电阻离散度（CV值≤8%）
温度场分布均匀性：工作状态下表面温差（ΔT≤15℃）
极化电压波动：持续负载下电压偏移量（±50mV）
检测范围
锂离子电池极片涂层
PCB板导电线路层
真空镀膜金属化薄膜
半导体晶圆电极结构
导电胶粘接界面层
检测方法
ASTM B63-2021《金属导电材料电阻测试标准》
ISO 1853:2018《导电橡胶体积电阻率测定》
GB/T 6495.9-2017《光伏组件电性能均匀性测试》
IEC 62660-3:2022《动力电池电极均一性试验规范》
GB/T 24521-2021《柔性显示器件导电层测试方法》
检测设备
Keysight B2900A精密源表：支持0.1fA-10A宽量程电流输出与测量
HIOKI RM2610高精度电阻计：四端子法测量0.1μΩ-200MΩ电阻值
FLIR A8580红外热像仪：空间分辨率30μm的热分布成像系统
Tektronix DMM6500数字万用表：6½位分辨率电压/电流采集模块
Cascade Summit12000探针台：支持300mm晶圆多点接触测试平台