检测项目

泄漏率灵敏度：1×10⁻⁹~1×10⁻¹² Pa·m³/s

响应时间：≤1秒（90%信号响应）

最小可检漏率：≤5×10⁻¹³ Pa·m³/s

本底噪声：＜1×10⁻¹¹ Pa·m³/s

校准精度：±5%（标准漏孔标定）

检测范围

真空系统组件：扩散泵、分子泵密封法兰

压力容器：LNG储罐焊缝、核级阀门

半导体设备：刻蚀腔体、PECVD反应室

医疗器械：血液透析器封装、人工心脏瓣膜

航天部件：推进剂贮箱、舱门密封结构

检测方法

ASTM E499-14：质谱仪示踪气体检漏标准方法

ISO 20485:2017：非破坏性测试-泄漏检测方法

GB/T 12604.7-2021：无损检测术语-泄漏检测

GB/T 34635-2017：真空技术-氦质谱检漏方法

ASME BPVC Section V Art.10：承压设备检漏规范

检测设备

Agilent HLD1000：四极杆质谱系统，分辨率0.5amu

INFICON ASM 340：磁偏转质谱仪，检测下限5×10⁻¹³ mbar·L/s

LEYBOLD PHOENIX L300i：双通道检漏模式（真空/吸枪）

Pfeiffer HLT560：全金属真空系统，耐高温150℃

SHIMADZU MSQ-TQ3：三重四极杆串联质谱系统

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与氦气质谱检漏仪检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。