检测项目

泄漏率灵敏度：1×10⁻⁹~1×10⁻¹² Pa·m³/s

响应时间：≤1秒（90%信号响应）

最小可检漏率：≤5×10⁻¹³ Pa·m³/s

本底噪声：＜1×10⁻¹¹ Pa·m³/s

校准精度：±5%（标准漏孔标定）

检测范围

真空系统组件：扩散泵、分子泵密封法兰

压力容器：LNG储罐焊缝、核级阀门

半导体设备：刻蚀腔体、PECVD反应室

医疗器械：血液透析器封装、人工心脏瓣膜

航天部件：推进剂贮箱、舱门密封结构

检测方法

ASTM E499-14：质谱仪示踪气体检漏标准方法

ISO 20485:2017：非破坏性测试-泄漏检测方法

GB/T 12604.7-2021：无损检测术语-泄漏检测

GB/T 34635-2017：真空技术-氦质谱检漏方法

ASME BPVC Section V Art.10：承压设备检漏规范

检测设备

Agilent HLD1000：四极杆质谱系统，分辨率0.5amu

INFICON ASM 340：磁偏转质谱仪，检测下限5×10⁻¹³ mbar·L/s

LEYBOLD PHOENIX L300i：双通道检漏模式（真空/吸枪）

Pfeiffer HLT560：全金属真空系统，耐高温150℃

SHIMADZU MSQ-TQ3：三重四极杆串联质谱系统