检测项目
静态泄漏率测定：1×10⁻⁶~1×10⁻¹² atm.cm³/s量程
动态压力衰减测试：0.1~10 MPa压力梯度
温度循环泄漏稳定性：-40℃~+150℃工况模拟
多组分混合气体渗透率：氦气浓度≥99.999%
长期密封耐久性评估：≥1000小时持续监测
检测范围
真空系统组件：不锈钢法兰、波纹管组件
密封器件：O型橡胶密封圈、金属垫片
压力容器：储气罐体、换热器管束
电子元器件：半导体封装外壳、MEMS器件
航空航天部件：推进剂贮箱、舱门密封结构
检测方法
ASTM E493-22 静态顶空法氦质谱检漏规程
ISO 20486:2017 真空系统泄漏率分级标准
GB/T 12604.7-2021 无损检测术语-泄漏检测
GB/T 34632-2017 气密性氦质谱检验方法
ASME BPVC Section V Article 10 压力容器检漏规范
检测设备
Leybold PHOENIX L300i：分辨率达5×10⁻¹³ atm.cm³/s
Agilent VS MR150：双通道质谱联用系统
INFICON ELT3000：集成自动校准功能测试台
Pfeiffer HLT560：高流量模式（10 mbar·L/s）专用机型
Varian 979系列：多探头同步监测系统