检测项目

静态泄漏率测定：1×10⁻⁶~1×10⁻¹² atm.cm³/s量程

动态压力衰减测试：0.1~10 MPa压力梯度

温度循环泄漏稳定性：-40℃~+150℃工况模拟

多组分混合气体渗透率：氦气浓度≥99.999%

长期密封耐久性评估：≥1000小时持续监测

检测范围

真空系统组件：不锈钢法兰、波纹管组件

密封器件：O型橡胶密封圈、金属垫片

压力容器：储气罐体、换热器管束

电子元器件：半导体封装外壳、MEMS器件

航空航天部件：推进剂贮箱、舱门密封结构

检测方法

ASTM E493-22 静态顶空法氦质谱检漏规程

ISO 20486:2017 真空系统泄漏率分级标准

GB/T 12604.7-2021 无损检测术语-泄漏检测

GB/T 34632-2017 气密性氦质谱检验方法

ASME BPVC Section V Article 10 压力容器检漏规范

检测设备

Leybold PHOENIX L300i：分辨率达5×10⁻¹³ atm.cm³/s

Agilent VS MR150：双通道质谱联用系统

INFICON ELT3000：集成自动校准功能测试台

Pfeiffer HLT560：高流量模式（10 mbar·L/s）专用机型

Varian 979系列：多探头同步监测系统