检测项目
泄漏率测试：阈值设定1×10⁻⁹~1×10⁻⁶ mbar·L/s
压力循环测试：交变压力0.1~15MPa（200次循环）
真空保持测试：真空度≤5×10⁻³ mbar（维持24h）
局部扫描测试：探头分辨率0.1mm²（响应时间＜2s）
累积泄漏量测试：积分时间1~3600s（精度±5%）
检测范围
金属焊接件：不锈钢/铝合金/Ti合金焊缝
复合材料容器：碳纤维增强塑料储罐
半导体封装：陶瓷/金属管壳密封性
真空系统组件：分子泵/离子规连接法兰
医用植入器械：心脏起搏器/人工关节封装
检测方法
ASTM E499/E493：真空喷氦法（正压模式）
ISO 20486：吸枪法（负压模式）
GB/T 15823-2019：累积检漏法（示踪气体法）
GB 4208-2017：IP防护等级氦检验证
ASME BPVC Section V：压力容器氦检规范
检测设备
Pfeiffer HLT560：四极杆质谱仪（灵敏度5×10⁻¹² mbar·L/s）
Agilent VSF-2000：真空系统集成平台（双通道采集）
INFICON ELT3000：便携式检漏仪（响应时间0.25s）
Leybold PHOENIX L300i：智能校准模块（自动背景补偿）
Edwards TIC系列：涡轮分子泵组（极限真空5×10⁻⁷ mbar）