检测项目
静态泄漏率测定：测量范围1×10⁻¹²~1×10⁻⁴ Pa·m³/s
动态压力衰减测试：测试压力0.1~40MPa（绝压）
真空系统本底值校准：本底值≤5×10⁻¹⁰ Pa·m³/s
氦气浓度梯度分析：分辨率达0.1ppm
温度循环泄漏验证：温度范围-65℃~+150℃
检测范围
金属焊接结构件（压力容器/管道焊缝）
真空镀膜设备腔体及阀门组件
半导体晶圆封装外壳（陶瓷/金属密封）
新能源汽车电池包壳体与冷却管路
医用植入器械（心脏起搏器/胰岛素泵）
检测方法
ASTM E499-2021：真空模式氦质谱检漏标准方法
ISO 20485:2017：示踪气体法泄漏检测通用规范
GB/T 12604.7-2021：无损检测术语-泄漏检测
GB 12352-2018：压力容器氦检技术规程
SJ/T 11689-2018：电子器件密封性氦质谱检验方法
检测设备
INFICON ELT3000：真空模式检漏仪，最小可检漏率5×10⁻¹³ Pa·m³/s
Agilent VSDR24：正压模式检漏系统，支持40MPa高压测试
Pfeiffer ASM 340：四极杆质谱仪模块，响应时间＜3ms
LACO LEAK-MASTER Pro：便携式氦检仪，集成GPS定位数据记录功能
VIC Leak Test System：全自动产线集成系统，支持多工位并行测试