检测项目

氦泄漏率检测：分辨率1×10⁻¹²~1×10⁻⁴ Pa·m³/s

压力-流量转换测试：覆盖10⁻³~10⁵ Pa动态压力范围

示踪气体浓度校准：误差≤±2%FS（0.1%~100% He）

温度补偿系数测定：-50℃~+150℃工况补偿

多通道同步检测：支持8通道并行数据采集

检测范围

金属密封件：法兰/焊接接头/阀门

真空设备：分子泵/低温冷阱/真空腔体

半导体组件：晶圆反应腔/光刻机密封环

航天器部件：推进剂贮箱/舱门密封系统

医疗设备：MRI超导线圈/血液透析仪管路

检测方法

ASTM E499-15：质谱仪法测定泄漏率标准流程

ISO 20486:2017：示踪气体法密封性分级规范

GB/T 12604.7-2021：无损检测术语-泄漏检测章节

GB/T 34528-2017：真空系统氦质谱检漏方法

ASME BPVC Section V Art.10：承压设备检漏规程

检测设备

INFICON ELT3000氦质谱检漏仪：最小可检漏率5×10⁻¹³ Pa·m³/s

LEYBOLD PHOENIX L300i：集成双通道质谱分析模块

CPS PRD3500多工位测试台：支持12个独立测试端口

TESCAN VEGA3真空舱：极限真空度5×10⁻⁷ mbar

Sierra SmartTrak 100质量流量计：量程0.5~5000 sccm