检测项目

泄漏率检测：1×10^-9至1×10^-4 Pa·m³/s

压力衰减测试：0.1-10 MPa压差范围

真空度维持能力：极限真空≤5×10^-5 Pa

密封面渗透率：≤3×10^-12 mol/(m·s·Pa)

循环压力冲击测试：1000次±0.5 MPa交变载荷

检测范围

金属密封件（法兰/焊接接头）

真空镀膜设备腔体

低温超导系统管路

半导体工艺反应室

航天器推进剂贮箱

检测方法

ASTM E493-22 真空箱氦质谱检漏法

ISO 20485:2017 累积法氦泄漏测试

GB/T 12604.7-2021 无损检测术语-泄漏检测

GB/T 34632-2017 真空技术氦质谱检漏方法

ASME BPVC Section V Article 10 压力容器检漏规范

检测设备

INFICON HLD3000：分辨率达5×10^-13 Pa·m³/s的便携式氦质谱仪

Agilent VS Series：支持多通道同步监测的真空系统检漏仪

Leybold PHOENIX L300i：集成自动校准功能的工业级检漏系统

Pfeiffer ASM 340：具备温度补偿功能的全量程检漏仪

Edwards TIC系列：适用于极端环境（-50℃~150℃）的特种检漏装置